பிளாஸ்மா நேரடி பாலிமரைசேஷன் செயல்முறை

பிளாஸ்மா நேரடி பாலிமரைசேஷன் செயல்முறை

பிளாஸ்மா பாலிமரைசேஷன் செயல்முறை உள் எலக்ட்ரோடு பாலிமரைசேஷன் கருவிகள் மற்றும் வெளிப்புற எலக்ட்ரோடு பாலிமரைசேஷன் கருவிகள் இரண்டிற்கும் ஒப்பீட்டளவில் எளிதானது, ஆனால் பிளாஸ்மா பாலிமரைசேஷனில் அளவுரு தேர்வு மிகவும் முக்கியமானது, ஏனெனில் பிளாஸ்மா பாலிமரைசேஷனின் போது பாலிமர் படங்களின் கட்டமைப்பு மற்றும் செயல்திறனில் அளவுருக்கள் அதிக தாக்கத்தை ஏற்படுத்துகின்றன.

நேரடி பிளாஸ்மா பாலிமரைசேஷனுக்கான செயல்பாட்டு படிகள் பின்வருமாறு:

(1) வெற்றிடமாக்குதல்

வெற்றிட நிலைமைகளின் கீழ் பாலிமரைசேஷனின் பின்னணி வெற்றிடம் 1.3×10-1Pa க்கு பம்ப் செய்யப்பட வேண்டும்.ஆக்ஸிஜன் அல்லது நைட்ரஜன் உள்ளடக்கத்தைக் கட்டுப்படுத்த சிறப்புத் தேவைகள் தேவைப்படும் பாலிமரைசேஷன் எதிர்வினைகளுக்கு, பின்னணி வெற்றிடத் தேவை இன்னும் அதிகமாக உள்ளது.

(2) சார்ஜ் எதிர்வினை மோனோமர் அல்லது கேரியர் வாயு மற்றும் மோனோமரின் கலப்பு வாயு

வெற்றிட அளவு 13-130Pa ஆகும்.வேலை தேவைப்படும் பிளாஸ்மா பாலிமரைசேஷனுக்கு, பொருத்தமான ஓட்டக் கட்டுப்பாட்டு முறை மற்றும் ஓட்ட விகிதம் தேர்ந்தெடுக்கப்பட வேண்டும், பொதுவாக 10.100mL/min.பிளாஸ்மாவில், மோனோமர் மூலக்கூறுகள் ஆற்றல்மிக்க துகள்களின் குண்டுவீச்சு மூலம் அயனியாக்கம் செய்யப்பட்டு பிரிக்கப்படுகின்றன, இதன் விளைவாக அயனிகள் மற்றும் செயலில் உள்ள மரபணுக்கள் போன்ற செயலில் உள்ள துகள்கள் உருவாகின்றன.பிளாஸ்மாவால் செயல்படுத்தப்படும் செயலில் உள்ள துகள்கள் வாயு கட்டம் மற்றும் திட கட்டத்தின் இடைமுகத்தில் பிளாஸ்மா பாலிமரைசேஷன் செய்ய முடியும்.மோனோமர் என்பது பிளாஸ்மா பாலிமரைசேஷனுக்கான முன்னோடியின் மூலமாகும், மேலும் உள்ளீடு எதிர்வினை வாயு மற்றும் மோனோமர் குறிப்பிட்ட தூய்மையைக் கொண்டிருக்க வேண்டும்.

(3) தூண்டுதல் மின்சாரம் தேர்வு

பாலிமரைசேஷனுக்கான பிளாஸ்மா சூழலை வழங்குவதற்கு DC, உயர் அதிர்வெண், RF அல்லது மைக்ரோவேவ் ஆற்றல் மூலங்களைப் பயன்படுத்தி பிளாஸ்மாவை உருவாக்க முடியும்.பாலிமரின் கட்டமைப்பு மற்றும் செயல்திறனுக்கான தேவைகளின் அடிப்படையில் மின்சார விநியோகத்தின் தேர்வு தீர்மானிக்கப்படுகிறது.

(4) வெளியேற்ற முறை தேர்வு

பாலிமர் தேவைகளுக்கு, பிளாஸ்மா பாலிமரைசேஷன் இரண்டு வெளியேற்ற முறைகளை தேர்வு செய்யலாம்: தொடர்ச்சியான வெளியேற்றம் அல்லது துடிப்பு வெளியேற்றம்.

(5) வெளியேற்ற அளவுருக்கள் தேர்வு

பிளாஸ்மா பாலிமரைசேஷனை நடத்தும் போது, ​​பிளாஸ்மா அளவுருக்கள், பாலிமர் பண்புகள் மற்றும் கட்டமைப்பு தேவைகள் ஆகியவற்றிலிருந்து வெளியேற்ற அளவுருக்கள் பரிசீலிக்கப்பட வேண்டும்.பாலிமரைசேஷனின் போது பயன்படுத்தப்படும் சக்தியின் அளவு வெற்றிட அறையின் அளவு, மின்முனை அளவு, மோனோமர் ஓட்ட விகிதம் மற்றும் அமைப்பு, பாலிமரைசேஷன் வீதம் மற்றும் பாலிமர் அமைப்பு மற்றும் செயல்திறன் ஆகியவற்றால் தீர்மானிக்கப்படுகிறது.எடுத்துக்காட்டாக, எதிர்வினை அறையின் அளவு 1L மற்றும் RF பிளாஸ்மா பாலிமரைசேஷன் ஏற்றுக்கொள்ளப்பட்டால், வெளியேற்ற சக்தி 10~30W வரம்பில் இருக்கும்.இத்தகைய நிலைமைகளின் கீழ், உருவாக்கப்படும் பிளாஸ்மா வேலைப்பொருளின் மேற்பரப்பில் ஒரு மெல்லிய படலத்தை உருவாக்கும்.பிளாஸ்மா பாலிமரைசேஷன் படத்தின் வளர்ச்சி விகிதம் மின்சாரம், மோனோமர் வகை மற்றும் ஓட்ட விகிதம் மற்றும் செயல்முறை நிலைமைகள் ஆகியவற்றுடன் மாறுபடும்.பொதுவாக, வளர்ச்சி விகிதம் 100nm/min~1um/min ஆகும்.

(6) பிளாஸ்மா பாலிமரைசேஷனில் அளவுரு அளவீடு

பிளாஸ்மா பாலிமரைசேஷனில் அளவிடப்படும் பிளாஸ்மா அளவுருக்கள் மற்றும் செயல்முறை அளவுருக்கள் பின்வருமாறு: வெளியேற்ற மின்னழுத்தம், வெளியேற்ற மின்னோட்டம், வெளியேற்ற அதிர்வெண், எலக்ட்ரான் வெப்பநிலை, அடர்த்தி, எதிர்வினை குழு வகை மற்றும் செறிவு போன்றவை.

——இந்தக் கட்டுரை குவாங்டாங் ஜென்ஹுவா தொழில்நுட்பத்தால் வெளியிடப்பட்டது, ஏஆப்டிகல் பூச்சு இயந்திரங்களின் உற்பத்தியாளர்.