வெற்று கேத்தோடு அயன் பூச்சு செயல்முறை

வெற்று கேத்தோடு அயன் பூச்சு செயல்முறை பின்வருமாறு:

1, சின் இங்காட்களை சரிவில் வைக்கவும்.

2, பணிப்பகுதியை ஏற்றுதல்.

3, 5×10-3Pa க்கு வெளியேற்றப்பட்ட பிறகு, வெள்ளிக் குழாயிலிருந்து பூச்சு அறைக்குள் ஆர்கான் வாயு அறிமுகப்படுத்தப்பட்டது, மேலும் வெற்றிட நிலை சுமார் 100Pa ஆகும்.

4, சார்பு சக்தியை இயக்கவும்.

5, வெற்று கேத்தோடு டிஸ்சார்ஜை பற்றவைக்க ஆர்க் பவரை ஆன் செய்த பிறகு. பொத்தான் குழாயில் பளபளப்பு வெளியேற்றம் உருவாகிறது, டிஸ்சார்ஜ் மின்னழுத்தம் 800~1000V, ஆர்க்-ரைசிங் கரண்ட் 30~50A. பளபளப்பின் வெற்று கேத்தோடு விளைவு காரணமாக வெளியேற்றம்,அதிக பளபளப்பு மின்னோட்ட அடர்த்தி,வெள்ளிக் குழாயில் உள்ள எலி அயனிகளின் அதிக அடர்த்தி வான்டேஜ் குழாயின் சுவரைத் தாக்குகிறது, எலக்ட்ரான் ஓட்டத்தின் உமிழ்வு வரை குழாய் சுவரை விரைவாக சூடாக்குகிறது, பளபளப்பான வெளியேற்றத்திலிருந்து வெளியேற்ற முறை திடீரென மாறுகிறது ஆர்க் டிஸ்சார்ஜ், மின்னழுத்தம் 40~70V, மின்னோட்டம் 80~300A. வெள்ளிக் குழாய் வெப்பநிலை 2300Kக்கு மேல் அடையும், ஒளிரும், குழாயில் இருந்து அதிக அடர்த்தி கொண்ட ஆர்க் எலக்ட்ரான்களை வெளியேற்றி, அனோடிற்குச் சுடுகிறது.

வெற்றிட அளவை சரிசெய்தல் கூடிய விரைவில் வாயு, வெற்றிட அளவை பூச்சுக்கு ஏற்ற வரம்பிற்கு சரிசெய்யவும்.

7, டைட்டானியம் பூசப்பட்ட அடிப்படை அடுக்கு. அனோடிக் சரிந்த சின் மெட்டல் இங்காட் மீது எலக்ட்ரான் ஓட்டம், இயக்க ஆற்றலை வெப்ப ஆற்றலாக மாற்றுதல், சின் உலோகத்தை சூடாக்குவதன் மூலம் ஆவியாதல், நீராவி அணுக்கள் டைட்டானியம் படலத்தை உருவாக்க பணிப்பகுதியை அடைகின்றன.

8, TiN இன் படிதல். நைட்ரஜன் வாயு பூச்சு அறைக்கு வழங்கப்படுகிறது, நைட்ரஜன் வாயு மற்றும் ஆவியாகிய அணுக்கள் நைட்ரஜன் மற்றும் டைட்டானியம் அயனிகளாக அயனியாக்கம் செய்யப்படுகின்றன. க்ரூசிபிள்க்கு மேலே, டைட்டானியம் நீராவி நீரோட்டங்களின் குறைந்த மின்னோட்ட அணுக்களின் நெகிழ்ச்சியற்ற மோதல்களின் அதிக நிகழ்தகவு. உலோக விலகல் விகிதம் 20%~40% வரை அதிகமாக உள்ளது., டைட்டானியம் அயனிகள் வினை வாயு நைட்ரஜனுடன் இரசாயன ரீதியாக வினைபுரியும் வாய்ப்புகள் அதிகம் அயனியாக்கம். பூச்சு போது, ​​crucible சுற்றி மின்காந்த சுருளின் தற்போதைய சரி செய்யப்பட வேண்டும், சரிவு மையத்தில் எலக்ட்ரான் கற்றை கவனம், இதனால், எலக்ட்ரான் ஓட்டத்தின் ஆற்றல் அடர்த்தி அதிகரிக்கிறது.

9, பவர் ஆஃப். ஃபிலிம் தடிமன் முன்னரே தீர்மானிக்கப்பட்ட ஃபிலிம் தடிமனை அடைந்த பிறகு, ஆர்க் பவர் சப்ளையை முடக்கு, பயாஸ் பவர் சப்ளை மற்றும் ஏர் சப்ளை.