ஆவியாதல் பூச்சு போது, பட அடுக்கின் அணுக்கரு மற்றும் வளர்ச்சி பல்வேறு அயனி பூச்சு தொழில்நுட்பத்தின் அடிப்படையாகும்.
1. அணுக்கரு
Inவெற்றிட ஆவியாதல் பூச்சு தொழில்நுட்பம்,பட அடுக்குத் துகள்கள் ஆவியாதல் மூலத்திலிருந்து அணுக்களின் வடிவில் ஆவியாகிய பிறகு, அவை அதிக வெற்றிடத்தில் நேரடியாகப் பணியிடத்திற்குப் பறந்து, பணிப்பொருளின் மேற்பரப்பில் அணுக்கரு மற்றும் வளர்ச்சியின் மூலம் பட அடுக்கை உருவாக்குகின்றன.வெற்றிட ஆவியாதல் போது, ஆவியாதல் மூலத்திலிருந்து வெளியேறும் பட அடுக்கு அணுக்களின் ஆற்றல் சுமார் 0.2eV ஆகும்.ஃபிலிம் லேயரின் துகள்களுக்கிடையேயான ஒருங்கிணைப்பு, பட அடுக்கு மற்றும் பணிப்பொருளின் அணுக்களுக்கு இடையே உள்ள பிணைப்பு விசையை விட அதிகமாக இருக்கும் போது, ஒரு தீவின் கருவை உருவாக்குகிறது.ஒரு ஒற்றைப் படல அடுக்கு அணுவானது பணிப்பகுதியின் மேற்பரப்பில் இருக்கும் நேரம் ஒழுங்கற்ற இயக்கம், பரவல், இடம்பெயர்வு அல்லது மற்ற அணுக்களுடன் மோதி அணுக் கூட்டங்களை உருவாக்குகிறது. கரு உருவாகிறது, ஒரே மாதிரியான வடிவ கரு என்று அழைக்கப்படுகிறது.
மென்மையானது, மற்றும் பல குறைபாடுகள் மற்றும் படிகள் உள்ளன, இது கதிரியக்க அணுக்களுக்கு பணிப்பகுதியின் வெவ்வேறு பகுதிகளின் உறிஞ்சுதல் சக்தியில் வேறுபாட்டை ஏற்படுத்துகிறது.குறைபாட்டின் மேற்பரப்பின் உறிஞ்சுதல் ஆற்றல் சாதாரண மேற்பரப்பை விட அதிகமாக உள்ளது, எனவே இது செயலில் உள்ள மையமாக மாறுகிறது, இது பன்முக அணுக்கரு எனப்படும் முன்னுரிமை அணுக்கருவுக்கு உகந்ததாகும்.பிணைப்பு விசைக்கு சமமாக இருக்கும் போது, அல்லது சவ்வு அணுக்களுக்கும் பணிப்பகுதிக்கும் இடையே உள்ள பிணைப்பு விசை சவ்வு அணுக்களுக்கு இடையே உள்ள ஒருங்கிணைப்பு விசையை விட அதிகமாக இருக்கும் போது, லேமல்லர் அமைப்பு உருவாகிறது.அயன் முலாம் பூசும் தொழில்நுட்பத்தில், பெரும்பாலான சந்தர்ப்பங்களில் தீவின் மையப்பகுதி உருவாகிறது.
2.வளர்ச்சி
படத்தின் மையப்பகுதி உருவானதும், அது சம்பவ அணுக்களை சிக்க வைத்து தொடர்ந்து வளர்கிறது. தீவுகள் வளர்ந்து, ஒன்றுடன் ஒன்று இணைந்து பெரிய அரைக்கோளங்களை உருவாக்குகின்றன, படிப்படியாக ஒரு அரைக்கோள தீவு அடுக்கை உருவாக்குகிறது, இது பணிப்பகுதியின் மேற்பரப்பில் பரவுகிறது.
ஃபிலிம் லேயரின் அணு ஆற்றல் அதிகமாக இருக்கும்போது, அது மேற்பரப்பில் போதுமான அளவில் பரவி, அடுத்தடுத்த உள்வரும் அணுக் கொத்துகள் சிறியதாக இருக்கும்போது ஒரு மென்மையான தொடர்ச்சியான படம் உருவாகலாம். மேற்பரப்பில் உள்ள அணுக்களின் பரவல் பலவீனமாக இருந்தால் மற்றும் அளவு டெபாசிட் செய்யப்பட்ட கொத்துகள் பெரியவை, அவை பெரிய தீபகற்ப கருக்களாக உள்ளன. தீவின் மையத்தின் மேற்பகுதி குழிவான பகுதியில் வலுவான நிழல் விளைவைக் கொண்டிருக்கிறது, அதுதான் "நிழல் விளைவு". மேற்பரப்பின் முன்கணிப்பு அடுத்தடுத்த டெபாசிட் செய்யப்பட்ட அணுக்களைப் பிடிக்க மிகவும் உகந்தது. மற்றும் முன்னுரிமை வளர்ச்சி, இதன் விளைவாக போதுமான அளவு கூம்பு அல்லது நெடுவரிசை படிகங்களை உருவாக்க மேற்பரப்பில் குழிவு அளவு அதிகரிக்கும்.கூம்பு படிகங்களுக்கு இடையில் ஊடுருவக்கூடிய வெற்றிடங்கள் உருவாகின்றன மற்றும் மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை மதிப்பு அதிகரிக்கிறது. அதிக வெற்றிடத்தில் நுண்ணிய திசுக்களை பெறலாம், வெற்றிட அளவு குறைவதால், சவ்வின் நுண்ணிய அமைப்பு தடிமனாகவும் தடிமனாகவும் மாறும்.
இடுகை நேரம்: மே-24-2023