வெற்றிட பூச்சு இயந்திர செயல்முறைகள் என்ன?வேலை கொள்கை என்ன?

திவெற்றிட பூச்சுஇயந்திர செயல்முறை பிரிக்கப்பட்டுள்ளது: வெற்றிட ஆவியாதல் பூச்சு, வெற்றிட ஸ்பட்டரிங் பூச்சு மற்றும் வெற்றிட அயன் பூச்சு.

1, வெற்றிட ஆவியாதல் பூச்சு

வெற்றிட நிலையின் கீழ், உலோகம், உலோகக் கலவை போன்றவற்றை ஆவியாகச் செய்து, அவற்றை அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் வைப்பது, ஆவியாதல் பூச்சு முறை பெரும்பாலும் எதிர்ப்பு வெப்பமாக்கலைப் பயன்படுத்துகிறது, பின்னர் பூச்சுப் பொருளின் எலக்ட்ரான் கற்றை குண்டுவீச்சு, அவற்றை உருவாக்குகிறது. வாயு கட்டத்தில் ஆவியாகி, பின்னர் அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் வைப்பு, வரலாற்று ரீதியாக, வெற்றிட நீராவி படிவு என்பது PVD முறையில் பயன்படுத்தப்பட்ட முந்தைய தொழில்நுட்பமாகும்.

2, ஸ்பட்டரிங் பூச்சு

(Ar) நிரப்பப்பட்ட வெற்றிட நிலைமைகளின் கீழ் வாயு ஒரு பளபளப்பான வெளியேற்றத்திற்கு உட்படுத்தப்படுகிறது, இந்த நேரத்தில் ஆர்கான் (Ar) அணுக்கள் நைட்ரஜன் அயனிகளாக (Ar) அயனிகளாக மாற்றப்படுகின்றன, அயனிகள் மின்சார புலத்தின் விசையால் துரிதப்படுத்தப்படுகின்றன, மேலும் கேத்தோட் இலக்கை குண்டுவீசுகின்றன. பூச்சுப் பொருளால் ஆனது, இலக்கு வெளியேற்றப்பட்டு, அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் படிந்துவிடும் அடி மூலக்கூறை நோக்கி பறக்கும் போது வெற்றிட அறையிலுள்ள வாயு மூலக்கூறுகளுடன், இயக்கத் திசையை சீரற்றதாகவும், டெபாசிட் செய்யப்பட்ட படலத்தை எளிதாகவும் சீரானதாக மாற்றும்.

3, அயன் பூச்சு

வெற்றிட நிலைமைகளின் கீழ், வெற்றிட நிலையில், ஒரு குறிப்பிட்ட பிளாஸ்மா அயனியாக்கம் நுட்பத்தைப் பயன்படுத்தி பூச்சுப் பொருள் அணுக்களை அயனிகளாகப் பகுதியளவில் அயனியாக்குகிறது. அதே நேரத்தில் பல உயர் ஆற்றல் நடுநிலை அணுக்கள் உற்பத்தி செய்யப்படுகின்றன, அவை அடி மூலக்கூறில் எதிர்மறையாகச் சார்புடையவை. இந்த வழியில், அயனிகள் ஒரு மெல்லிய படலத்தை உருவாக்க ஆழமான எதிர்மறை சார்பின் கீழ் அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் டெபாசிட் செய்யப்படுகின்றன.