இந்தத் தொடர் உபகரணங்கள் பூச்சுப் பொருட்களை நானோமீட்டர் அளவிலான துகள்களாக மாற்ற மேக்னட்ரான் இலக்குகளைப் பயன்படுத்துகின்றன, அவை மெல்லிய படலங்களை உருவாக்க அடி மூலக்கூறுகளின் மேற்பரப்பில் வைக்கப்படுகின்றன.உருட்டப்பட்ட படம் வெற்றிட அறையில் வைக்கப்படுகிறது.மின்சாரத்தால் இயக்கப்படும் முறுக்கு அமைப்பு மூலம், ஒரு முனை படத்தைப் பெறுகிறது, மற்றொன்று படத்தை வைக்கிறது.அது இலக்குப் பகுதி வழியாகச் சென்று, இலக்குத் துகள்களைப் பெற்று அடர்த்தியான படலத்தை உருவாக்குகிறது.
பண்பு:
1. குறைந்த வெப்பநிலை படம் உருவாகிறது.வெப்பநிலை படத்தில் சிறிய விளைவைக் கொண்டிருக்கிறது மற்றும் சிதைவை உருவாக்காது.இது PET, PI மற்றும் பிற அடிப்படை பொருள் சுருள் படங்களுக்கு ஏற்றது.
2. படத்தின் தடிமன் வடிவமைக்கப்படலாம்.செயல்முறை சரிசெய்தல் மூலம் மெல்லிய அல்லது தடிமனான பூச்சுகளை வடிவமைத்து டெபாசிட் செய்யலாம்.
3. பல இலக்கு இருப்பிட வடிவமைப்பு, நெகிழ்வான செயல்முறை.முழு இயந்திரமும் எட்டு இலக்குகளுடன் பொருத்தப்படலாம், அவை எளிய உலோக இலக்குகளாக அல்லது கலவை மற்றும் ஆக்சைடு இலக்குகளாகப் பயன்படுத்தப்படலாம்.ஒற்றை-அடுக்கு படங்களை ஒற்றை அமைப்பு அல்லது பல-அடுக்கு படங்களை கலவை அமைப்புடன் தயாரிக்க இதைப் பயன்படுத்தலாம்.செயல்முறை மிகவும் நெகிழ்வானது.
மின்காந்தக் கவசப் படம், நெகிழ்வான சர்க்யூட் போர்டு பூச்சு, பல்வேறு மின்கடத்தாப் படங்கள், பல அடுக்கு AR எதிர்ப்புப் பிரதிபலிப்புத் திரைப்படம், HR உயர் எதிர்ப்புப் படம், வண்ணத் திரைப்படம் போன்றவற்றை இந்தக் கருவிகள் தயாரிக்கலாம். இந்த உபகரணமானது மிகவும் பரந்த அளவிலான பயன்பாடுகள் மற்றும் ஒற்றை அடுக்கு படப் படிவு ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது. ஒரு முறை படம் வைப்பதன் மூலம் முடிக்க முடியும்.
கருவிகள் Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl போன்ற எளிய உலோக இலக்குகளை அல்லது SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO போன்ற கூட்டு இலக்குகளை ஏற்கலாம்.
கருவி அளவு சிறியது, கட்டமைப்பு வடிவமைப்பில் கச்சிதமானது, தரைப்பகுதியில் சிறியது, குறைந்த ஆற்றல் நுகர்வு மற்றும் சரிசெய்தலில் நெகிழ்வானது.செயல்முறை ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாடு அல்லது சிறிய தொகுதி வெகுஜன உற்பத்திக்கு இது மிகவும் பொருத்தமானது.