அயன் கற்றை உதவி படிவு தொழில்நுட்பம்

உண்மையில், அயன் கற்றை உதவி படிவு தொழில்நுட்பம் ஒரு கூட்டு தொழில்நுட்பமாகும்.இது அயனி பொருத்துதல் மற்றும் உடல் நீராவி படிவு பட தொழில்நுட்பம் மற்றும் ஒரு புதிய வகை அயன் கற்றை மேற்பரப்பு தேர்வுமுறை நுட்பம் ஆகியவற்றை இணைக்கும் ஒரு கலவை மேற்பரப்பு அயனி சிகிச்சை நுட்பமாகும்.இயற்பியல் நீராவி படிவு நன்மைகள் கூடுதலாக, இந்த நுட்பம் மிகவும் கடுமையான கட்டுப்பாட்டு நிலைமைகளின் கீழ் எந்த தடிமன் படலத்தையும் தொடர்ந்து வளர்க்கலாம், பட அடுக்கின் படிகத்தன்மை மற்றும் நோக்குநிலையை கணிசமாக மேம்படுத்தலாம், பட அடுக்கு/அடி மூலக்கூறுகளின் ஒட்டுதல் வலிமையை அதிகரிக்கலாம், அடர்த்தியை மேம்படுத்தலாம். ஃபிலிம் லேயரின், மற்றும் அறை வெப்பநிலை மற்றும் அழுத்தத்தில் பெற முடியாத புதிய வகை படங்கள் உட்பட, அறை வெப்பநிலையில் சிறந்த ஸ்டோச்சியோமெட்ரிக் விகிதங்களைக் கொண்ட கலவைத் திரைப்படங்களை ஒருங்கிணைக்கவும்.அயன் கற்றை உதவி படிவு அயனி பொருத்துதல் செயல்முறையின் நன்மைகளைத் தக்கவைத்துக்கொள்வது மட்டுமல்லாமல், அடி மூலக்கூறிலிருந்து முற்றிலும் மாறுபட்ட படத்துடன் அடி மூலக்கூறை மறைக்க முடியும்.
அனைத்து வகையான உடல் நீராவி படிவு மற்றும் இரசாயன நீராவி படிவு ஆகியவற்றில், ஒரு IBAD அமைப்பை உருவாக்க துணை குண்டுவீச்சு அயன் துப்பாக்கிகளின் தொகுப்பைச் சேர்க்கலாம், மேலும் படத்தில் காட்டப்பட்டுள்ளபடி இரண்டு பொதுவான IBAD செயல்முறைகள் உள்ளன:

Pic (a) இல் காட்டப்பட்டுள்ளபடி, ஒரு எலக்ட்ரான் கற்றை ஆவியாதல் மூலமானது, அயன் துப்பாக்கியிலிருந்து வெளிப்படும் அயனி கற்றை மூலம் பட அடுக்கை கதிர்வீச்சு செய்ய பயன்படுத்தப்படுகிறது, இதனால் அயன் கற்றை உதவி படிவத்தை உணர்கிறது.நன்மை என்னவென்றால், அயன் கற்றை ஆற்றல் மற்றும் திசையை சரிசெய்ய முடியும், ஆனால் ஒரு ஒற்றை அல்லது வரையறுக்கப்பட்ட அலாய் அல்லது கலவையை மட்டுமே ஆவியாதல் மூலமாகப் பயன்படுத்த முடியும், மேலும் கலவை கூறு மற்றும் கலவையின் ஒவ்வொரு நீராவி அழுத்தமும் வேறுபட்டது, இது கடினமாக்குகிறது. அசல் ஆவியாதல் மூல கலவையின் பட அடுக்கைப் பெற.
படம் (ஆ) அயன் கற்றை ஸ்பட்டரிங்-உதவி படிவுகளைக் காட்டுகிறது, இது இரட்டை அயன் கற்றை ஸ்பட்டரிங் படிவு என்றும் அழைக்கப்படுகிறது, இதில் அயன் பீம் ஸ்பட்டரிங் பூச்சு பொருளால் செய்யப்பட்ட இலக்கு, ஸ்பட்டரிங் தயாரிப்புகள் மூலமாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.அடி மூலக்கூறில் டெபாசிட் செய்யும் போது, ​​மற்றொரு அயனி மூலத்துடன் கதிர்வீச்சு மூலம் அயன் கற்றை ஸ்பட்டரிங் உதவி படிவு அடையப்படுகிறது.இந்த முறையின் நன்மை என்னவென்றால், தெளிக்கப்பட்ட துகள்கள் ஒரு குறிப்பிட்ட ஆற்றலைக் கொண்டுள்ளன, எனவே அடி மூலக்கூறுடன் சிறந்த ஒட்டுதல் உள்ளது;இலக்கின் எந்தப் பகுதியும் ஸ்பட்டர் பூச்சாக இருக்கலாம், ஆனால் பிலிமில் ரியாக்ஷன் ஸ்பட்டரிங் ஆகவும் இருக்கலாம், படத்தின் கலவையை சரிசெய்ய எளிதாக இருக்கும், ஆனால் அதன் படிவு திறன் குறைவாக உள்ளது, இலக்கு விலை அதிகம் மற்றும் தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட ஸ்பட்டரிங் போன்ற சிக்கல்கள் உள்ளன.