அயன் பூச்சு தொழில்நுட்பம்

படங்களை டெபாசிட் செய்வதற்கான வெற்றிட ஆவியாதல் முறையின் முக்கிய அம்சம் அதிக படிவு விகிதம் ஆகும்.ஸ்பட்டரிங் முறையின் முக்கிய அம்சம், பரந்த அளவிலான கிடைக்கக்கூடிய படப் பொருட்கள் மற்றும் ஃபிலிம் லேயரின் நல்ல சீரான தன்மை, ஆனால் படிவு விகிதம் குறைவாக உள்ளது.அயன் பூச்சு என்பது இந்த இரண்டு செயல்முறைகளையும் இணைக்கும் ஒரு முறையாகும்.

அயனி பூச்சு கொள்கை மற்றும் படம் உருவாக்கும் நிலைமைகள்
அயன் பூச்சுகளின் செயல்பாட்டுக் கொள்கை படத்தில் காட்டப்பட்டுள்ளது.வெற்றிட அறை 10-4 Pa க்குக் கீழே அழுத்தத்திற்கு உந்தப்பட்டு, பின்னர் 0.1~1 Pa அழுத்தத்திற்கு மந்த வாயு (எ.கா. ஆர்கான்) நிரப்பப்படுகிறது. 5 kV வரை எதிர்மறை DC மின்னழுத்தம் அடி மூலக்கூறுக்கு பயன்படுத்தப்பட்ட பிறகு, a குறைந்த அழுத்த வாயு பளபளப்பு வெளியேற்ற பிளாஸ்மா மண்டலம் அடி மூலக்கூறு மற்றும் க்ரூசிபிள் இடையே நிறுவப்பட்டது.மந்த வாயு அயனிகள் மின்சார புலத்தால் துரிதப்படுத்தப்பட்டு, அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பில் குண்டுவீசி, இதனால் பணிப்பகுதியின் மேற்பரப்பை சுத்தம் செய்கிறது.இந்த துப்புரவு செயல்முறை முடிந்த பிறகு, பூச்சு செயல்முறை சிலுவையில் பூசப்பட வேண்டிய பொருளின் ஆவியாதலுடன் தொடங்குகிறது.ஆவியாக்கப்பட்ட நீராவித் துகள்கள் பிளாஸ்மா மண்டலத்திற்குள் நுழைந்து, பிரிக்கப்பட்ட மந்த நேர்மறை அயனிகள் மற்றும் எலக்ட்ரான்களுடன் மோதுகின்றன, மேலும் சில நீராவி துகள்கள் பிரிக்கப்பட்டு மின்புலத்தின் முடுக்கத்தின் கீழ் பணிப்பகுதி மற்றும் பூச்சு மேற்பரப்பில் குண்டு வீசுகின்றன.அயனி முலாம் பூசும் செயல்பாட்டில், அடி மூலக்கூறின் மீது நேர்மறை அயனிகளின் படிவு மட்டுமல்ல, ஸ்பட்டரிங்கும் உள்ளது, எனவே படிவு விளைவு ஸ்பட்டரிங் விளைவை விட அதிகமாக இருக்கும்போது மட்டுமே மெல்லிய படலம் உருவாகும்.

அயனி பூச்சு செயல்முறை, இதில் அடி மூலக்கூறு எப்போதும் உயர்-ஆற்றல் அயனிகளால் தாக்கப்படுகிறது, இது மிகவும் தூய்மையானது மற்றும் ஸ்பட்டரிங் மற்றும் ஆவியாதல் பூச்சுடன் ஒப்பிடும்போது பல நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளது.

(1) வலுவான ஒட்டுதல், பூச்சு அடுக்கு எளிதில் உரிக்கப்படாது.
(அ) ​​அயனி பூச்சு செயல்பாட்டில், பளபளப்பு வெளியேற்றத்தால் உருவாக்கப்படும் அதிக எண்ணிக்கையிலான உயர் ஆற்றல் துகள்கள் அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பில் ஒரு கத்தோடிக் ஸ்பட்டரிங் விளைவை உருவாக்கப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, மேற்பரப்பில் உறிஞ்சப்பட்ட வாயு மற்றும் எண்ணெயை துடைத்து சுத்தம் செய்கின்றன. முழு பூச்சு செயல்முறை முடியும் வரை அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பை சுத்திகரிக்க அடி மூலக்கூறு.
(ஆ) பூச்சுகளின் ஆரம்ப கட்டத்தில், ஸ்பட்டரிங் மற்றும் படிவு ஆகியவை இணைந்திருக்கும், இது ஃபிலிம் தளத்தின் இடைமுகத்தில் கூறுகளின் மாற்ற அடுக்கை உருவாக்குகிறது அல்லது "போலி-பரவல் அடுக்கு" என்று அழைக்கப்படும் படப் பொருள் மற்றும் அடிப்படைப் பொருட்களின் கலவையாகும். படத்தின் ஒட்டுதல் செயல்திறனை திறம்பட மேம்படுத்த முடியும்.
(2) நல்ல மடக்கு-சுற்று பண்புகள்.ஒரு காரணம் என்னவென்றால், பூச்சு பொருள் அணுக்கள் அதிக அழுத்தத்தின் கீழ் அயனியாக்கம் செய்யப்பட்டு, அடி மூலக்கூறை அடையும் செயல்பாட்டின் போது பல முறை வாயு மூலக்கூறுகளுடன் மோதுகின்றன, இதனால் பூச்சு பொருள் அயனிகள் அடி மூலக்கூறைச் சுற்றி சிதறடிக்கப்படலாம்.கூடுதலாக, அயனியாக்கம் செய்யப்பட்ட பூச்சு பொருள் அணுக்கள் மின்சார புலத்தின் செயல்பாட்டின் கீழ் அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பில் டெபாசிட் செய்யப்படுகின்றன, எனவே முழு அடி மூலக்கூறும் ஒரு மெல்லிய படத்துடன் டெபாசிட் செய்யப்படுகிறது, ஆனால் ஆவியாதல் பூச்சு இந்த விளைவை அடைய முடியாது.
(3) பூச்சு அடுக்கின் அடர்த்தியை மேம்படுத்தும் நேர்மறை அயனிகளுடன் டெபாசிட் செய்யப்பட்ட படத்தின் தொடர்ச்சியான குண்டுவீச்சினால் ஏற்படும் மின்தேக்கிகள் தெளிப்பதால் பூச்சுகளின் உயர் தரம் ஏற்படுகிறது.
(4) பூச்சு பொருட்கள் மற்றும் அடி மூலக்கூறுகளின் பரந்த தேர்வு உலோக அல்லது உலோகம் அல்லாத பொருட்களில் பூசப்படலாம்.
(5) இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) உடன் ஒப்பிடுகையில், இது குறைந்த அடி மூலக்கூறு வெப்பநிலையைக் கொண்டுள்ளது, பொதுவாக 500 ° C க்கும் குறைவாக உள்ளது, ஆனால் அதன் ஒட்டுதல் வலிமை இரசாயன நீராவி படிவு படங்களுடன் முழுமையாக ஒப்பிடத்தக்கது.
(6)அதிக படிவு விகிதம், வேகமான பட உருவாக்கம் மற்றும் பல்லாயிரக்கணக்கான நானோமீட்டர்கள் முதல் மைக்ரான்கள் வரை படங்களின் தடிமன் பூசக்கூடியது.

அயன் பூச்சுகளின் தீமைகள்: படத்தின் தடிமன் துல்லியமாக கட்டுப்படுத்த முடியாது;நுண்ணிய பூச்சு தேவைப்படும் போது குறைபாடுகளின் செறிவு அதிகமாக உள்ளது;மற்றும் வாயுக்கள் பூச்சு போது மேற்பரப்பில் நுழையும், இது மேற்பரப்பு பண்புகளை மாற்றும்.சில சந்தர்ப்பங்களில், குழிவுகள் மற்றும் கருக்கள் (1 nm க்கும் குறைவானது) உருவாகின்றன.

படிவு விகிதத்தைப் பொறுத்தவரை, அயனி பூச்சு ஆவியாதல் முறையுடன் ஒப்பிடத்தக்கது.படத்தின் தரத்தைப் பொறுத்தவரை, அயன் பூச்சு மூலம் தயாரிக்கப்படும் படங்கள், ஸ்பட்டரிங் மூலம் தயாரிக்கப்பட்ட படங்களுக்கு அருகில் அல்லது சிறந்தவை.