రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ సామగ్రి యొక్క వాక్యూమ్ కోటింగ్ చాంబర్ స్వతంత్ర డబుల్-లేయర్ వాటర్-శీతలీకరణ నిర్మాణాన్ని అవలంబిస్తుంది, ఇది శీతలీకరణలో సమర్థవంతంగా మరియు ఏకరీతిగా ఉంటుంది మరియు సురక్షితమైన మరియు స్థిరమైన నిర్మాణాన్ని కలిగి ఉంటుంది.పరికరాలు డబుల్ డోర్లు, బహుళ పరిశీలన విండోలు మరియు బహుళ విస్తరణ ఇంటర్ఫేస్లతో రూపొందించబడ్డాయి, ఇది ఇన్ఫ్రారెడ్ ఉష్ణోగ్రత కొలత, స్పెక్ట్రల్ విశ్లేషణ, వీడియో పర్యవేక్షణ మరియు థర్మోకపుల్ వంటి సహాయక పెరిఫెరల్స్ యొక్క బాహ్య కనెక్షన్కు సౌకర్యవంతంగా ఉంటుంది.అధునాతన డిజైన్ కాన్సెప్ట్ రోజువారీ సమగ్ర మరియు నిర్వహణ, కాన్ఫిగరేషన్ మార్పు మరియు పరికరాల అప్గ్రేడ్ను సులభతరం చేస్తుంది మరియు సులభతరం చేస్తుంది మరియు ఉపయోగం మరియు అప్గ్రేడ్ ఖర్చులను సమర్థవంతంగా తగ్గిస్తుంది.
సామగ్రి లక్షణాలు:
1.పరికరాల ద్రవ్యోల్బణం భాగాలు ప్రధానంగా మాస్ ఫ్లో మీటర్, సోలనోయిడ్ వాల్వ్ మరియు గ్యాస్ మిక్సింగ్ ట్యాంక్ను కలిగి ఉంటాయి, ఇవి ప్రాసెస్ గ్యాస్ ఫ్లో యొక్క ఖచ్చితమైన నియంత్రణను, ఏకరీతి మిక్సింగ్ మరియు వివిధ వాయువుల సురక్షితమైన ఐసోలేషన్ను నిర్ధారిస్తాయి మరియు ఉపయోగం కోసం గ్యాస్ సిస్టమ్ భాగాలను ఎంచుకోవచ్చు. ద్రవ వాయువు మూలం, విస్తృత శ్రేణి ద్రవ కార్బన్ మూలాల వ్యక్తిగతీకరించిన ఎంపికను సులభతరం చేస్తుంది మరియు సింథటిక్ కండక్టివ్ డైమండ్ మరియు ఎలక్ట్రోడ్ లిక్విడ్ బోరాన్ మూలాల యొక్క సురక్షితమైన ఉపయోగం.
2.ఎయిర్ ఎక్స్ట్రాక్షన్ అసెంబ్లీ నిశ్శబ్ద మరియు సమర్థవంతమైన రోటరీ వేన్ వాక్యూమ్ పంప్ మరియు అధిక వాక్యూమ్ బ్యాక్గ్రౌండ్ వాతావరణాన్ని త్వరగా తీర్చగల టర్బో మాలిక్యులర్ పంప్ సిస్టమ్తో అమర్చబడి ఉంటుంది.రెసిస్టెన్స్ గేజ్ మరియు అయనీకరణ గేజ్తో కూడిన మిశ్రమ వాక్యూమ్ గేజ్ వాక్యూమ్ కొలత కోసం ఉపయోగించబడుతుంది, అలాగే కెపాసిటివ్ ఫిల్మ్ గేజ్ సిస్టమ్ను విస్తృత పరిధిలో వివిధ ప్రక్రియ వాయువుల ఒత్తిడిని కొలవగలదు.అధిక-ఖచ్చితమైన అనుపాత నియంత్రణ వాల్వ్ ద్వారా నిక్షేపణ పీడనం పూర్తిగా ఆటోమేటిక్గా నియంత్రించబడుతుంది.
3.శీతలీకరణ నీటి భాగం బహుళ-ఛానల్ నీటి పీడనం, ప్రవాహం, ఉష్ణోగ్రత కొలత మరియు సాఫ్ట్వేర్ ఆటోమేటిక్ మానిటరింగ్తో అమర్చబడి ఉంటుంది.వివిధ శీతలీకరణ భాగాలు ఒకదానికొకటి స్వతంత్రంగా ఉంటాయి, ఇది వేగవంతమైన దోష నిర్ధారణకు అనుకూలమైనది.అన్ని శాఖలు స్వతంత్ర వాల్వ్ స్విచ్లను కలిగి ఉంటాయి, ఇది సురక్షితమైనది మరియు సమర్థవంతమైనది.
4.ఎలక్ట్రికల్ కంట్రోల్ భాగాలు పెద్ద-పరిమాణ మ్యాన్-మెషిన్ ఇంటర్ఫేస్ LCD స్క్రీన్ను అవలంబిస్తాయి మరియు ప్రాసెస్ ఫార్ములా యొక్క సవరణ మరియు దిగుమతిని సులభతరం చేయడానికి PLC పూర్తి-ఆటోమేటిక్ నియంత్రణతో సహకరిస్తాయి.గ్రాఫికల్ కర్వ్ వివిధ పారామితుల మార్పులు మరియు విలువలను దృశ్యమానంగా ప్రదర్శిస్తుంది మరియు సమస్య ట్రేసింగ్ మరియు డేటా గణాంక విశ్లేషణను సులభతరం చేయడానికి పరికరాలు మరియు ప్రాసెస్ పారామితులు స్వయంచాలకంగా రికార్డ్ చేయబడతాయి మరియు ఆర్కైవ్ చేయబడతాయి.
5. వర్క్పీస్ ర్యాక్లో సబ్స్ట్రేట్ టేబుల్ని ఎత్తడం మరియు తగ్గించడాన్ని నియంత్రించడానికి సర్వో మోటార్ను అమర్చారు.గ్రాఫైట్ లేదా రెడ్ కాపర్ సబ్స్ట్రేట్ టేబుల్ని ఎంచుకోవచ్చు.ఉష్ణోగ్రత థర్మోకపుల్ ద్వారా కొలుస్తారు.
6.కస్టమర్ల ప్రత్యేక హ్యాండ్లింగ్ అవసరాలను తీర్చడానికి రాక్ కాంపోనెంట్స్ మొత్తంగా లేదా కస్టమర్ అవసరాలకు అనుగుణంగా ప్రత్యేకంగా రూపొందించబడతాయి.
7.సీలింగ్ ప్లేట్ భాగాలు అందంగా మరియు సొగసైనవి.పరికరాల యొక్క వివిధ ఫంక్షనల్ మాడ్యూల్ ప్రాంతాలలో సీలింగ్ ప్లేట్లు త్వరగా విడదీయబడతాయి లేదా స్వతంత్రంగా తెరవబడతాయి మరియు మూసివేయబడతాయి, ఇది ఉపయోగించడానికి చాలా సౌకర్యవంతంగా ఉంటుంది.
హాట్ ఫిలమెంట్ CVD పరికరాలు డైమండ్ మెటీరియల్ను డిపాజిట్ చేయడానికి అనుకూలంగా ఉంటాయి, వీటిలో సన్నని ఫిల్మ్ కోటింగ్, సెల్ఫ్-సపోర్టింగ్ మందపాటి ఫిల్మ్, మైక్రోక్రిస్టలైన్ మరియు నానోక్రిస్టలైన్ డైమండ్, కండక్టివ్ డైమండ్ మొదలైనవి ఉంటాయి. ఇది ప్రధానంగా సిమెంట్ కార్బైడ్ కట్టింగ్ టూల్స్, సెమీకండక్టర్ మెటీరియల్ల దుస్తులు-నిరోధక రక్షణ పూత కోసం ఉపయోగించబడుతుంది. సిలికాన్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్, పరికరాల వేడి వెదజల్లే పూత, బోరాన్ డోప్డ్ కండక్టివ్ డైమండ్ ఎలక్ట్రోడ్, ఎలక్ట్రోలైటిక్ వాటర్ యొక్క ఓజోన్ క్రిమిసంహారక లేదా మురుగునీటి శుద్ధి వంటివి.
ఐచ్ఛిక నమూనాలు | లోపలి గది పరిమాణం |
HFCVD0606 | φ600*H600(mm) |