ప్లాస్మా డైరెక్ట్ పాలిమరైజేషన్ ప్రక్రియ

ప్లాస్మా డైరెక్ట్ పాలిమరైజేషన్ ప్రక్రియ

ప్లాస్మా పాలిమరైజేషన్ ప్రక్రియ అంతర్గత ఎలక్ట్రోడ్ పాలిమరైజేషన్ పరికరాలు మరియు బాహ్య ఎలక్ట్రోడ్ పాలిమరైజేషన్ పరికరాలు రెండింటికీ చాలా సులభం, అయితే ప్లాస్మా పాలిమరైజేషన్‌లో పారామితి ఎంపిక చాలా ముఖ్యమైనది, ఎందుకంటే ప్లాస్మా పాలిమరైజేషన్ సమయంలో పారామితులు పాలిమర్ ఫిల్మ్‌ల నిర్మాణం మరియు పనితీరుపై ఎక్కువ ప్రభావం చూపుతాయి.

డైరెక్ట్ ప్లాస్మా పాలిమరైజేషన్ కోసం ఆపరేషన్ దశలు క్రింది విధంగా ఉన్నాయి:

(1) వాక్యూమింగ్

వాక్యూమ్ పరిస్థితుల్లో పాలిమరైజేషన్ యొక్క నేపథ్య వాక్యూమ్ 1.3×10-1Paకి పంప్ చేయబడాలి.ఆక్సిజన్ లేదా నైట్రోజన్ కంటెంట్‌ను నియంత్రించడానికి ప్రత్యేక అవసరాలు అవసరమయ్యే పాలిమరైజేషన్ ప్రతిచర్యల కోసం, నేపథ్య వాక్యూమ్ అవసరం మరింత ఎక్కువగా ఉంటుంది.

(2) ఛార్జ్ రియాక్షన్ మోనోమర్ లేదా క్యారియర్ గ్యాస్ మరియు మోనోమర్ మిశ్రమ వాయువు

వాక్యూమ్ డిగ్రీ 13-130Pa.పని అవసరమయ్యే ప్లాస్మా పాలిమరైజేషన్ కోసం, తగిన ప్రవాహ నియంత్రణ మోడ్ మరియు ఫ్లో రేట్ ఎంచుకోబడతాయి, సాధారణంగా 10.100mL/min.ప్లాస్మాలో, మోనోమర్ అణువులు అయానైజ్ చేయబడతాయి మరియు శక్తివంతమైన కణాల బాంబు దాడి ద్వారా విడదీయబడతాయి, ఫలితంగా అయాన్లు మరియు క్రియాశీల జన్యువుల వంటి క్రియాశీల కణాలు ఏర్పడతాయి.ప్లాస్మా ద్వారా సక్రియం చేయబడిన క్రియాశీల కణాలు గ్యాస్ దశ మరియు ఘన దశ యొక్క ఇంటర్‌ఫేస్‌లో ప్లాస్మా పాలిమరైజేషన్‌కు లోనవుతాయి.మోనోమర్ ప్లాస్మా పాలిమరైజేషన్‌కు పూర్వగామి మూలం, మరియు ఇన్‌పుట్ రియాక్షన్ గ్యాస్ మరియు మోనోమర్ నిర్దిష్ట స్వచ్ఛతను కలిగి ఉంటాయి.

(3) ఉత్తేజిత విద్యుత్ సరఫరా ఎంపిక

పాలిమరైజేషన్ కోసం ప్లాస్మా వాతావరణాన్ని అందించడానికి DC, హై-ఫ్రీక్వెన్సీ, RF లేదా మైక్రోవేవ్ పవర్ సోర్స్‌లను ఉపయోగించి ప్లాస్మాను ఉత్పత్తి చేయవచ్చు.పాలిమర్ యొక్క నిర్మాణం మరియు పనితీరు కోసం అవసరాల ఆధారంగా విద్యుత్ సరఫరా ఎంపిక నిర్ణయించబడుతుంది.

(4) డిచ్ఛార్జ్ మోడ్ ఎంపిక

పాలిమర్ అవసరాల కోసం, ప్లాస్మా పాలిమరైజేషన్ రెండు డిచ్ఛార్జ్ మోడ్‌లను ఎంచుకోవచ్చు: నిరంతర ఉత్సర్గ లేదా పల్స్ ఉత్సర్గ.

(5) ఉత్సర్గ పారామితుల ఎంపిక

ప్లాస్మా పాలిమరైజేషన్‌ను నిర్వహిస్తున్నప్పుడు, ప్లాస్మా పారామితులు, పాలిమర్ లక్షణాలు మరియు నిర్మాణ అవసరాల నుండి ఉత్సర్గ పారామితులను పరిగణనలోకి తీసుకోవడం అవసరం.పాలిమరైజేషన్ సమయంలో వర్తించే శక్తి యొక్క పరిమాణం వాక్యూమ్ ఛాంబర్, ఎలక్ట్రోడ్ పరిమాణం, మోనోమర్ ఫ్లో రేట్ మరియు స్ట్రక్చర్, పాలిమరైజేషన్ రేట్ మరియు పాలిమర్ నిర్మాణం మరియు పనితీరు యొక్క వాల్యూమ్ ద్వారా నిర్ణయించబడుతుంది.ఉదాహరణకు, రియాక్షన్ ఛాంబర్ వాల్యూమ్ 1L మరియు RF ప్లాస్మా పాలిమరైజేషన్ స్వీకరించబడితే, డిచ్ఛార్జ్ పవర్ 10~30W పరిధిలో ఉంటుంది.అటువంటి పరిస్థితులలో, ఉత్పత్తి చేయబడిన ప్లాస్మా వర్క్‌పీస్ యొక్క ఉపరితలంపై సన్నని చలనచిత్రాన్ని ఏర్పరుస్తుంది.ప్లాస్మా పాలిమరైజేషన్ ఫిల్మ్ యొక్క పెరుగుదల రేటు విద్యుత్ సరఫరా, మోనోమర్ రకం మరియు ప్రవాహం రేటు మరియు ప్రక్రియ పరిస్థితులతో మారుతుంది.సాధారణంగా, వృద్ధి రేటు 100nm/min~1um/min.

(6) ప్లాస్మా పాలిమరైజేషన్‌లో పారామీటర్ కొలత

ప్లాస్మా పాలిమరైజేషన్‌లో కొలవబడే ప్లాస్మా పారామితులు మరియు ప్రాసెస్ పారామితులు: ఉత్సర్గ వోల్టేజ్, డిచ్ఛార్జ్ కరెంట్, డిచ్ఛార్జ్ ఫ్రీక్వెన్సీ, ఎలక్ట్రాన్ ఉష్ణోగ్రత, సాంద్రత, ప్రతిచర్య సమూహం రకం మరియు ఏకాగ్రత మొదలైనవి.

——ఈ కథనాన్ని గ్వాంగ్‌డాంగ్ జెన్‌హువా టెక్నాలజీ విడుదల చేసింది, aఆప్టికల్ పూత యంత్రాల తయారీదారు.