స్పుట్టరింగ్ కోటింగ్ మెషిన్ యొక్క ప్రక్రియ ప్రవాహం

1. బాంబార్డ్‌మెంట్ క్లీనింగ్ సబ్‌స్ట్రేట్

1.1) స్పుట్టరింగ్ కోటింగ్ మెషిన్ సబ్‌స్ట్రేట్‌ను శుభ్రం చేయడానికి గ్లో డిశ్చార్జ్‌ని ఉపయోగిస్తుంది.అంటే, ఆర్గాన్ గ్యాస్‌ను ఛాంబర్‌లోకి ఛార్జ్ చేయండి, డిశ్చార్జ్ వోల్టేజ్ సుమారు 1000V, విద్యుత్ సరఫరాను ఆన్ చేసిన తర్వాత, గ్లో డిశ్చార్జ్ ఉత్పత్తి అవుతుంది మరియు ఆర్గాన్ అయాన్ బాంబర్‌మెంట్ ద్వారా సబ్‌స్ట్రేట్ శుభ్రం చేయబడుతుంది.

1.2) పారిశ్రామికంగా హై-ఎండ్ ఆభరణాలను ఉత్పత్తి చేసే స్పుట్టరింగ్ కోటింగ్ మెషీన్‌లలో, చిన్న ఆర్క్ మూలాల ద్వారా విడుదలయ్యే టైటానియం అయాన్‌లను ఎక్కువగా శుభ్రపరచడానికి ఉపయోగిస్తారు.స్పుట్టరింగ్ కోటింగ్ మెషీన్‌లో చిన్న ఆర్క్ మూలం అమర్చబడి ఉంటుంది మరియు చిన్న ఆర్క్ సోర్స్ డిశ్చార్జ్ ద్వారా ఉత్పన్నమయ్యే ఆర్క్ ప్లాస్మాలోని టైటానియం అయాన్ స్ట్రీమ్‌ను బాంబు పేల్చడానికి మరియు సబ్‌స్ట్రేట్‌ను శుభ్రం చేయడానికి ఉపయోగిస్తారు.

2. టైటానియం నైట్రైడ్ పూత

టైటానియం నైట్రైడ్ థిన్ ఫిల్మ్‌లను డిపాజిట్ చేసినప్పుడు, స్పుట్టరింగ్ కోసం టార్గెట్ మెటీరియల్ టైటానియం లక్ష్యం.లక్ష్య పదార్థం స్పుట్టరింగ్ విద్యుత్ సరఫరా యొక్క ప్రతికూల ఎలక్ట్రోడ్‌కు అనుసంధానించబడి ఉంది మరియు లక్ష్య వోల్టేజ్ 400 ~ 500V;ఆర్గాన్ ఫ్లక్స్ స్థిరంగా ఉంది మరియు నియంత్రణ వాక్యూమ్ (3~8) x10^-1PAసబ్‌స్ట్రేట్ 100 ~ 200V వోల్టేజ్‌తో బయాస్ విద్యుత్ సరఫరా యొక్క ప్రతికూల ఎలక్ట్రోడ్‌కు అనుసంధానించబడి ఉంది.

స్పుట్టరింగ్ టైటానియం లక్ష్యం యొక్క విద్యుత్ సరఫరాను ఆన్ చేసిన తర్వాత, ఒక గ్లో డిశ్చార్జ్ ఉత్పత్తి అవుతుంది మరియు అధిక-శక్తి ఆర్గాన్ అయాన్లు స్పుట్టరింగ్ లక్ష్యంపై బాంబు దాడి చేస్తాయి, లక్ష్యం నుండి టైటానియం అణువులను చిమ్ముతాయి.

ప్రతిచర్య గ్యాస్ నైట్రోజన్ పరిచయం చేయబడింది మరియు టైటానియం అణువులు మరియు నత్రజని పూత గదిలో టైటానియం అయాన్లు మరియు నైట్రోజన్ అయాన్లుగా అయనీకరణం చెందుతాయి.సబ్‌స్ట్రేట్‌కు వర్తించే ప్రతికూల బయాస్ ఎలెక్ట్రిక్ ఫీల్డ్ యొక్క ఆకర్షణ కింద, టైటానియం అయాన్లు మరియు నైట్రోజన్ అయాన్‌లు రసాయన ప్రతిచర్య మరియు నిక్షేపణ కోసం ఉపరితలం యొక్క ఉపరితలంపై వేగవంతం చేసి టైటానియం నైట్రైడ్ ఫిల్మ్ పొరను ఏర్పరుస్తాయి.

3. సబ్‌స్ట్రేట్‌ను బయటకు తీయండి

ముందుగా నిర్ణయించిన ఫిల్మ్ మందాన్ని చేరుకున్న తర్వాత, స్పుట్టరింగ్ పవర్ సప్లై, సబ్‌స్ట్రేట్ బయాస్ పవర్ సప్లై మరియు ఎయిర్ సోర్స్‌ను ఆఫ్ చేయండి.ఉపరితల ఉష్ణోగ్రత 120 ℃ కంటే తక్కువగా ఉన్న తర్వాత, పూత గదిని గాలితో నింపి, ఉపరితలాన్ని బయటకు తీయండి.

ఈ వ్యాసం ప్రచురించబడిందిమాగ్నెట్రాన్ స్పుట్టరింగ్ పూత యంత్ర తయారీదారు- గ్వాంగ్‌డాంగ్ జెన్‌హువా.