బోలు కాథోడ్ అయాన్ పూత ప్రక్రియ

బోలు కాథోడ్ అయాన్ పూత ప్రక్రియ క్రింది విధంగా ఉంటుంది:

1, పతనంలో చిన్ కడ్డీలను ఉంచండి.

2, వర్క్‌పీస్‌ను మౌంట్ చేయడం.

3, 5×10-3Paకి ఖాళీ చేసిన తర్వాత, వెండి ట్యూబ్ నుండి పూత గదిలోకి ఆర్గాన్ వాయువు ప్రవేశపెట్టబడుతుంది మరియు వాక్యూమ్ స్థాయి సుమారు 100Pa ఉంటుంది.

4, బయాస్ పవర్‌ని ఆన్ చేయండి.

5, బోలు కాథోడ్ ఉత్సర్గను మండించడానికి ఆర్క్ పవర్‌ను ఆన్ చేసిన తర్వాత. బటన్ ట్యూబ్‌లో గ్లో డిశ్చార్జ్ ఉత్పత్తి అవుతుంది, డిశ్చార్జ్ వోల్టేజ్ 800~1000V, ఆర్క్-రైజింగ్ కరెంట్ 30~50A. గ్లో యొక్క బోలు కాథోడ్ ప్రభావం కారణంగా ఉత్సర్గ, అధిక గ్లో ఉత్సర్గ కరెంట్ సాంద్రత, వెండి ట్యూబ్‌లోని ఎలుక అయాన్ల అధిక సాంద్రత వాన్టేజ్ ట్యూబ్ యొక్క గోడపై బాంబు దాడి చేస్తుంది, ఎలక్ట్రాన్ ప్రవాహ ఉద్గారానికి ట్యూబ్ గోడ వేగంగా వేడెక్కేలా చేయండి, గ్లో ఉత్సర్గ నుండి ఉత్సర్గ మోడ్ ఆకస్మికంగా మారుతుంది ఆర్క్ డిశ్చార్జ్, వోల్టేజ్ 40~70V, కరెంట్ 80~300A. సిల్వర్ ట్యూబ్ ఉష్ణోగ్రత 2300K కంటే ఎక్కువగా ఉంటుంది, ప్రకాశించేది, ట్యూబ్ నుండి ఆర్క్ ఎలక్ట్రాన్‌ల యొక్క అధిక సాంద్రత ప్రవాహాన్ని విడుదల చేస్తుంది మరియు యానోడ్‌కు కాల్చబడుతుంది.

శూన్య స్థాయి సర్దుబాటు వీలైనంత త్వరగా గ్యాస్, వాక్యూమ్ స్థాయిని పూత కోసం తగిన పరిధికి సర్దుబాటు చేయండి.

7, టైటానియం పూతతో కూడిన బేస్ లేయర్. యానోడికల్‌గా కూలిపోయిన చిన్ మెటల్ కడ్డీపైకి ఎలక్ట్రాన్ ప్రవాహం, గతి శక్తిని ఉష్ణ శక్తిగా మార్చడం, వేడి చేయడం ద్వారా చిన్ మెటల్ యొక్క బాష్పీభవనం, ఆవిరి అణువులు టైటానియం ఫిల్మ్‌ను రూపొందించడానికి వర్క్‌పీస్‌కు చేరుకుంటాయి.

8, TiN. నత్రజని వాయువు నిక్షేపణ పూత గదికి సరఫరా చేయబడుతుంది, నైట్రోజన్ వాయువు మరియు ఆవిరైన పరమాణువులు నత్రజని మరియు టైటానియం అయాన్‌లుగా అయనీకరణం చేయబడతాయి. క్రూసిబుల్ పైన, టైటానియం ఆవిరి ప్రవాహాలు తక్కువగా ఉండే ఎలెక్ట్రిక్ ఎలెక్ట్రిక్ ఎలక్ట్రిక్ ఎలెక్ట్రిక్‌ల యొక్క అస్థిర ఘర్షణల యొక్క అధిక సంభావ్యత. మెటల్ డిస్సోసియేషన్ రేటు 20%~40% వరకు ఉంటుంది., టైటానియం అయాన్లు రియాక్షన్ గ్యాస్ నైట్రోజన్‌తో రసాయనికంగా స్పందించే అవకాశం ఉంది, నైట్రైడ్ మాంటిల్ ఫిల్మ్ లేయర్‌ని పొందేందుకు నిక్షేపణ. బోలు కాథోడ్ గన్ రెండూ బాష్పీభవన మూలం，మరొక మూలం. అయనీకరణం. పూత సమయంలో, క్రూసిబుల్ చుట్టూ ఉన్న విద్యుదయస్కాంత కాయిల్ యొక్క కరెంట్ కూడా సర్దుబాటు చేయబడాలి, పతనం మధ్యలో ఎలక్ట్రాన్ పుంజంను కేంద్రీకరించండి, అందువలన, ఎలక్ట్రాన్ ప్రవాహం యొక్క శక్తి సాంద్రత పెరుగుతుంది.

9, పవర్ ఆఫ్. ఫిల్మ్ మందం ముందుగా నిర్ణయించిన ఫిల్మ్ మందాన్ని చేరుకున్న తర్వాత, ఆర్క్ పవర్ సప్లై, బయాస్ పవర్ సప్లై మరియు ఎయిర్ సప్లై ఆఫ్ చేయండి.