Таҷҳизот сохтори амудии дари пеши ва тарҳбандии кластерро қабул мекунад.Он метавонад бо манбаъҳои бухоршавӣ барои металлҳо ва маводҳои гуногуни органикӣ муҷаҳҳаз карда шавад ва метавонад вафли кремнийи хусусиятҳои гуногунро бухор кунад.Бо системаи ҳамоҳангсозии дақиқ муҷаҳҳаз шудааст, рӯйпӯш устувор аст ва рӯйпӯш қобилияти такрории хуб дорад.
Таҷҳизоти пӯшиши GX600 метавонад маводҳои органикии рӯшноӣ ё маводи металлиро дар рӯи замин дақиқ, баробар ва ба таври идорашаванда бухор кунад.Он бартариҳои ташаккули оддии филм, тозагии баланд ва паймоннокии баланд дорад.Системаи пурраи худкори ғафсии филм дар вақти воқеӣ метавонад такроршавандагӣ ва устувории равандро таъмин кунад.Он бо функсияи обшавии худ муҷаҳҳаз шудааст, то вобастагӣ аз малакаҳои операторро коҳиш диҳад.
Таҷҳизотро ба Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti ва дигар маводи металлӣ истифода бурдан мумкин аст ва бо плёнкаи металлӣ, қабати диэлектрикӣ, филми IMD ва ғ. он асосан дар нимноқил истифода мешавад. саноат, ба монанди дастгоҳҳои энергетикӣ, қабати зеризаминии бастабандии нимноқил ва ғайра.
GX600 | GX900 |
φ600*800(мм) | φ900*H1050(мм) |