Бо афзоиши босуръати талаботи бозор барои беҳтар кардани муқовимат ба фарсудашавӣ, молиданӣ, муқовимат ба зангзанӣ ва дигар хосиятҳои рӯйпӯшҳои сахт, таҷҳизоти рӯйпӯши ионҳои филтратсияи катодикии катодӣ табдил ёфт.Таҷҳизот дастгоҳи филтри магнитии даврашаклии 90 дараҷа маъмултарин ва самаранокро қабул мекунад, ки метавонад зарраҳои калонро самаранок нест кунад, то бартариҳои технологияи пӯшиши ионҳои катодӣ пурра бозӣ кунад.Дар соҳаи тайёр кардани қабатҳои сахти DLC, махсусан дар соҳаи тайёр кардани қабатҳои Ta-C бо бисёр хосиятҳои физикӣ ва кимиёвӣ, аз қабили сахтии баланд, коэффисиенти пасти сурхшавӣ, гармӣ, изолятсия, азхудкунии ултрабунафш, муқовимат ба зарари радиатсионӣ, муқовимат ба зангзанӣ ва гайра афзалиятхо махсусан калонанд.Сахтии миёнаи қабатҳои Ta-C метавонад тақрибан ба 63GPa мерасад.
Таҷҳизот метавонад пӯшишҳои карбонии гибридии алмосмонандро ба монанди Ta-C / AlTiN / AlCrN / TiCrAlN / TiAlSiN / CrN ҷойгир кунад, ки барои пармакунии микро, фрезерҳо, кранҳо, буришҳои асошакл, қисмҳои автомобилӣ, дастгоҳҳои тиббӣ ва ғайра мувофиқ аст. майдонхо.
Натиҷаҳои санҷиши спектри лазерии Раман, спектри Рамани қабати гузариши Cr дар рӯи пӯлоди баландсуръат:
Намунаи 20210122, мувофиқати Gaussian натиҷаҳои санҷиши Раман (ID/IG = 0.224, мундариҷаи sp3 кофӣ баланд аст):
Мувофиқи натиҷаҳои санҷиши сахтии асбоби Nano indentation, сахтии миёнаи намунаи 20210122 62,7GPa аст:
MFA0605 |
φ600*H500(мм) |