Технологияи пӯшонидани CVD дорои хусусиятҳои зерин аст:
1. Фаъолияти раванди таҷҳизоти CVD нисбатан содда ва чандир аст ва он метавонад филмҳои ягона ё таркибӣ ва плёнкаҳои хӯлаи бо таносуби гуногун омода кунад;
2. молидани CVD дорои доираи васеи барномаҳо, ва метавонад истифода шавад барои омода намудани молидани филми металлӣ ё металлӣ гуногун;
3. Самаранокии баланди истеҳсолот аз ҳисоби суръати таҳшиншавӣ аз чанд микрон то садҳо микрон дар як дақиқа;
4. Дар муқоиса бо усули PVD, CVD дорои иҷрои беҳтари дифраксионист ва барои пӯшонидани субстратҳо бо шаклҳои мураккаб, аз қабили grooves, сӯрохиҳои пӯшида ва ҳатто сохторҳои сӯрохи кӯр хеле мувофиқ аст.Сарпӯшро метавон ба плёнка бо паймоннокии хуб пӯшонд.Аз сабаби ҳарорати баланд дар ҷараёни ташаккули филм ва пайвастагии қавӣ дар интерфейси субстрати филм, қабати филм хеле мустаҳкам аст
5. Зараре, ки аз радиатсия расонида мешавад, нисбатан кам аст ва онро бо равандҳои микросхемаи интегралии MOS муттаҳид кардан мумкин аст.
——Ин маколаро нашриёти Гуандун Чжэнхуа, Аистеҳсолкунандаи мошини молидани чангкашак
Вақти фиристодан: 29 март-2023