① Назорати хуб ва такроршавандагии ғафсии филм
Новобаста аз он, ки ғафсии филмро бо арзиши пешакӣ назорат кардан мумкин аст ё не, назорати ғафсии филм номида мешавад.Ғафсии филми заруриро барои чандин маротиба такрор кардан мумкин аст, ки онро такроршавандагии ғафсии филм меноманд. Зеро ҷараёни разряд ва ҷараёнҳои мақсадноки қабати пошидани вакуумро алоҳида назорат кардан мумкин аст.Аз ин рӯ, ғафсии филми пошидашуда идорашаванда аст ва филмро бо ғафсии пешакӣ муайяншуда боэътимод гузоштан мумкин аст.Илова бар ин, қабати sputter метавонад филм бо ғафсӣ яксон дар сатҳи калон ба даст.
② Пайвастшавии қавӣ байни филм ва субстрат
Энергияи атомҳои пошидашуда аз энергияи атомҳои бухоршуда 1-2 дараҷа зиёдтар аст.Табдилдиҳии энергияи атомҳои пошидашудаи дорои энергияи баланд, ки дар зеризаминӣ ҷойгир шудаанд, нисбат ба атомҳои бухоршуда хеле баландтар аст, ки гармии бештар ба вуҷуд меорад ва пайвастшавии байни атомҳои пошида ва субстратро беҳтар мекунад.Илова бар ин, баъзе атомҳои пошидашудаи энергияи баланд дараҷаҳои гуногуни тазриқро ба вуҷуд оварда, дар субстрат қабати псевдодофифузиро ташкил медиҳанд.Илова бар ин, субстрат ҳамеша дар минтақаи плазма ҳангоми ташаккули филм тоза карда мешавад ва фаъол карда мешавад, ки атомҳои пошидаро бо адгезияи заиф хориҷ мекунад ва сатҳи субстратро тоза ва фаъол мекунад.Аз ин рӯ, плёнкаи пошидашуда ба субстрат пайвасти қавӣ дорад.
③ Филми нави маводи аз ҳадаф фарқкунанда омода кардан мумкин аст
Агар ҳангоми пошидан гази реактивӣ ворид карда шавад, то он бо ҳадаф реаксия кунад, филми нави моддӣ аз ҳадаф комилан фарқ мекунад.Масалан, кремний ҳамчун ҳадафи пошидан истифода мешавад ва оксиген ва аргон ба камераи вакуумӣ якҷоя гузошта мешаванд.Баъди пошидан плёнкаи изоляционии SiOz гирифтан мумкин аст.Бо истифода аз титан ҳамчун ҳадафи пошидан, нитроген ва аргон ба камераи вакуумӣ якҷоя гузошта мешаванд ва пас аз пошидан филми фазаи TiN-и тиллоӣ ба даст овардан мумкин аст.
④ Тозагии баланд ва сифати хуби филм
Азбаски дар дастгоҳи тайёр кардани плёнкаи пошидан ҷузъи тигел мавҷуд нест, ҷузъҳои маводи гармкунаки тигел дар қабати плёнкаи пошидан омехта намешаванд.Камбудиҳои қабати пошидан дар он аст, ки суръати ташаккули филм нисбат ба қабати бухоршавӣ сусттар аст, ҳарорати субстрат баландтар аст, ба он гази наҷосат таъсир мерасонад ва сохтори дастгоҳ мураккабтар аст.
Ин мақола аз ҷониби Guangdong Zhenhua, як истеҳсолкунандаитачхизоти вакуумй пушидан
Вақти фиристодан: 09-09-2023