Раванди полимеризатсияи мустақими плазма

Раванди полимеризатсияи мустақими плазма

Раванди полимеризатсияи плазма ҳам барои таҷҳизоти полимеризатсияи дохилии электрод ва ҳам таҷҳизоти полимеризатсияи берунии электрод нисбатан содда аст, аммо интихоби параметр дар полимеризатсияи плазма муҳимтар аст, зеро параметрҳо ба сохтор ва иҷрои филмҳои полимерӣ ҳангоми полимеризатсияи плазма таъсири бештар доранд.

Қадамҳои амалиёт барои полимеризатсияи мустақими плазма инҳоянд:

(1) чангкашак

Вакууми заминавии полимеризатсия дар шароити вакуум бояд ба 1,3×10-1Па интиқол дода шавад.Барои реаксияҳои полимеризатсия, ки талаботи махсусро барои назорати миқдори оксиген ё нитроген талаб мекунанд, талаботи вакууми замина боз ҳам баландтар аст.

(2) Мономери реаксияи заряднок ё гази омехтаи гази баранда ва мономер

Дараҷаи вакуум 13-130Па аст.Барои полимеризатсияи плазма, ки кор талаб мекунад, режими мувофиқи назорати ҷараён ва суръати ҷараён бояд интихоб карда шавад, одатан 10,100 мл/дақ.Дар плазма молекулаҳои мономерҳо тавассути бомбаборони зарраҳои энергетикӣ ионизатсия мешаванд ва пароканда мешаванд, ки дар натиҷа заррачаҳои фаъол ба монанди ионҳо ва генҳои фаъол ба вуҷуд меоянд.Зарраҳои фаъоле, ки тавассути плазма фаъол карда шудаанд, метавонанд дар интерфейси фазаи газ ва фазаи сахт аз полимеризатсияи плазма гузаранд.Мономер манбаи пешгузаштаи полимеризатсияи плазма мебошад ва гази реаксияи воридотӣ ва мономер бояд тозагии муайян дошта бошанд.

(3) Интихоби таъминоти барқи барангезанда

Плазма метавонад бо истифода аз манбаъҳои доимии доимӣ, басомади баланд, РБ ё микроволновка барои фароҳам овардани муҳити плазма барои полимеризатсия тавлид шавад.Интихоби таъминоти барқ ​​дар асоси талабот ба сохтор ва иҷрои полимер муайян карда мешавад.

(4) Интихоби режими разряд

Барои талаботи полимерӣ, полимеризатсияи плазма метавонад ду намуди разрядро интихоб кунад: разряди доимӣ ё разряди импулс.

(5) Интихоби параметрҳои разряд

Ҳангоми гузаронидани полимеризатсияи плазма, параметрҳои разрядро аз параметрҳои плазма, хосиятҳои полимерҳо ва талаботи сохтор ба назар гирифтан лозим аст.Миқдори қувваи истифодашаванда ҳангоми полимеризатсия аз рӯи ҳаҷми камераи вакуумӣ, андозаи электрод, суръати ҷараёни мономер ва сохтор, суръати полимеризатсия, сохтор ва иҷрои полимер муайян карда мешавад.Масалан, агар ҳаҷми камераи реаксия 1 л бошад ва полимеризатсияи плазмаи RF қабул карда шавад, қувваи разряд дар ҳудуди 10 ~ 30 Вт хоҳад буд.Дар чунин шароит, плазмаи тавлидшуда метавонад муттаҳид шуда, дар рӯи порчаи коркард як филми тунукро ба вуҷуд орад.Суръати афзоиши филми полимеризатсияи плазма бо таъминоти барқ, навъи мономер ва суръати ҷараён ва шароити раванд фарқ мекунад.Умуман, суръати афзоиш 100nm / min ~ 1um / min аст.

(6) Андозаи параметр дар полимеризатсияи плазма

Параметрҳои плазма ва параметрҳои раванде, ки ҳангоми полимеризатсияи плазма чен карда мешаванд, иборатанд аз: шиддати разряд, ҷараёни разряд, басомади разряд, ҳарорати электрон, зичӣ, навъи гурӯҳи реаксия ва консентратсия ва ғайра.

——Ин маколаро аз тарафи Гуандун Чжэнхуа Технология, аистехсолкунан-даи машинахои оптикии рпуш.