Раванди пӯшонидани ионҳои катодӣ

Раванди пӯшонидани ионҳои катодӣ чунин аст:

1、Пулчинҳои чиниро дар фурӯпошӣ гузоред.

2、Васл кардани қисмҳои корӣ.

3 、 Пас аз эвакуатсия ба 5 × 10-3 Па, гази аргон аз найчаи нуқра ба камераи пӯшиш ворид карда мешавад ва сатҳи вакуум тақрибан 100 Па аст.

4, Қувваи ғаразнокро фаъол созед.

5、Баъд аз фурӯзон кардани қувваи камон барои афрӯхтани разряди катодҳои холӣ. Рақами шуоъ дар найчаи тугма тавлид мешавад, шиддати разряд 800 ~ 1000 В аст, ҷараёни камонбардорӣ 30 ~ 50А аст. Аз сабаби таъсири катодҳои холии дурахшанда. разряд, Зичии баланди разряди дурахшанда, Зичии баланди ионҳои каламушҳо дар найчаи нуқра девори найчаи вантажро бомбаборон мекунад, Девори қубурро зуд то ба партови ҷараёни электрон гарм кунад, режими разряд аз разряди дурахшанда ногаҳонӣ ба тағирёбии разряди камон, Шиддати 40~70В,Ҷараён 80~300A. Ҳарорати қубури нуқра ба 2300К мерасад, Лағзанок, ҷараёни зичии баланди электронҳои камонро аз найча мебарорад ва ба анод мепарад.

6、Танзими сатҳи вакуум. Сатҳи вакуум барои разряди шуоъ аз таппончаи катодии холӣ тақрибан 100 Паро ташкил медиҳад ва дараҷаи вакууми рӯйпӯш 8×10-1~2Па аст. Аз ин рӯ, пас аз оташ гирифтани разряди камон, аргон воридшавандаро кам кунед. ҳарчи зудтар газ, Сатҳи вакуумро ба диапазони мувофиқ барои пӯшиш танзим кунед.

7、Қабати пояи титанӣ.Ҷараёни электрон ба зарфи металлии чинӣ ба таври анодӣ фурӯ рехта мешавад, Табдил додани энергияи кинетикӣ ба энергияи гармӣ, Бухоршавии металли чинӣ тавассути гармкунӣ, Атомҳои буғ ба порчаи корӣ расида, филми титаниро ташкил медиҳанд.

8、Таҳияи TiN. Гази нитроген ба камераи пӯшиш дода мешавад,Гази нитроген ва атомҳои бухоршуда ба ионҳои нитроген ва титан ионизатсия мешаванд.Дар болои тигел,Эҳтимолияти баланди бархӯрдҳои ғайричашмдошти атомҳои буғи титан бо ҷараёнҳои зиччи энергияи кам, Меъёри диссотсиатсияи металлҳо то 20% ~ 40% баланд аст.,Ионҳои титан эҳтимоли бештар бо нитрогени гази реаксия ба таври кимиёвӣ реаксия мекунанд,Чойгиркунӣ барои ба даст овардани қабати филми мантияи нитридӣ.Пулоҳчаи катодҳои ковок ҳам манбаи бухоршавӣ аст，Манбаи дигар аз ionization.During молидани, Ҷараёни ғалтаки электромагнитӣ дар атрофи тигел низ бояд танзим карда шавад, Фокус нури электрон ба маркази фурӯпошӣ, Ҳамин тавр, зичии қувваи ҷараёни электрон зиёд мешавад.

9、Қорро хомӯш кунед. Пас аз он ки ғафсии филм ба ғафсии филми қаблан муайяншуда мерасад, таъминоти барқи камонро хомӯш кунед、Таъмини барқ ​​ва таъминоти ҳаво.