Пӯшидани магнитронҳои вакуумӣ махсусан барои рӯйпӯшҳои реактивӣ мувофиқ аст.Дар асл, ин раванд метавонад филмҳои тунуки ҳама гуна маводи оксид, карбид ва нитридро ҷойгир кунад.Илова бар ин, ин раванд инчунин барои ҷойгиркунии сохторҳои филми бисёрқабата, аз ҷумла тарҳҳои оптикӣ, филмҳои ранга, пӯшишҳои тобовар, нано-ламинатҳо, қабатҳои superlattice, филмҳои изолятсионӣ ва ғайра мувофиқ аст. Ҳанӯз дар соли 1970, филми оптикии баландсифат. намунаҳои таҳшин барои маводи гуногуни қабати филми оптикӣ таҳия карда шуданд.Ба ин маводҳо маводҳои шаффоф гузаронанда, нимноқилҳо, полимерҳо, оксидҳо, карбидҳо ва нитридҳо дохил мешаванд, дар ҳоле ки фторидҳо дар равандҳо ба монанди пӯшиши бухоршавӣ истифода мешаванд.
Бартарии асосии раванди пошидани магнетронӣ истифодаи равандҳои пӯшиши реактивӣ ё ғайриреактивӣ барои гузоштани қабатҳои ин мавод ва назорати хуби таркиби қабат, ғафсии плёнка, якрангии ғафсии плёнка ва хосиятҳои механикии қабат мебошад.Раванд дорои хусусиятҳои зерин аст.
1, Меъёри пасандози калон.Аз ҳисоби истифодаи электродҳои баландсуръати магнетронӣ, ҷараёни бузурги ионҳо ба даст овардан мумкин аст, ки суръати таҳшиншавӣ ва суръати пошидани ин раванди пӯшишро самаранок беҳтар мекунад.Дар муқоиса бо дигар равандҳои пошидани пошидан, пошидани магнетрон дорои иқтидори баланд ва ҳосили баланд буда, дар истеҳсолоти гуногуни саноатӣ васеъ истифода мешавад.
2, Самаранокии баланди барқ.Ҳадафи пошидани магнетрон одатан шиддатро дар доираи 200V-1000V интихоб мекунад, одатан 600V аст, зеро шиддати 600В танҳо дар доираи баландтарин диапазони самараноки самаранокии нерӯ аст.
3. Энергияи пасти пошидан.Шиддати ҳадафи магнетрон паст истифода мешавад ва майдони магнитӣ плазмаро дар наздикии катод маҳдуд мекунад, ки аз ба замин баромадани зарраҳои пурқуввати энергия монеъ мешавад.
4, Ҳарорати пасти субстрат.Анодро барои дур кардани электронҳои ҳангоми разряд тавлидшуда истифода бурдан мумкин аст, барои анҷом додани дастгирии субстрат лозим нест, ки метавонад бомбаборони электронии субстратро самаранок коҳиш диҳад.Ҳамин тариқ, ҳарорати субстрат паст аст, ки барои баъзе субстратҳои пластикӣ, ки ба рӯйпӯши ҳарорати баланд чандон тобовар нестанд, хеле мувофиқ аст.
5, Магнетрон пошидани пошидани рӯи ҳадаф яксон нест.Нобаробарии сатҳи ҳадафи пошидани магнитрон аз майдони нобаробари магнитии ҳадаф ба амал меояд.Ҷойгиршавии сатҳи матои мақсаднок калонтар аст, ба тавре ки сатҳи истифодаи самараноки ҳадаф паст аст (танҳо 20-30% меъёри истифода).Аз ин рӯ, барои беҳтар кардани истифодаи мақсаднок, тақсимоти майдони магнитиро бо василаҳои муайян тағир додан лозим аст ё истифодаи магнитҳое, ки дар катод ҳаракат мекунанд, инчунин метавонад истифодаи ҳадафро беҳтар кунад.
6, Ҳадафи таркибӣ.Метавонад плёнкаи хӯлаи пӯшиши таркибиро созад.Дар айни замон, истифодаи раванди пошидани ҳадафи таркибии магнетрон дар хӯлаи Ta-Ti, (Tb-Dy)-Fe ва филми хӯлаи Gb-Co бомуваффақият фаро гирифта шудааст.Сохтори ҳадафҳои таркибӣ мутаносибан чаҳор намуд дорад, ки ҳадафи мудаввар, ҳадафи чоркунҷаи мураббаъ, ҳадафи ороишии чоркунҷаи хурд ва ҳадафи бахшӣ.Истифодаи сохтори мақсадноки соҳа беҳтар аст.
7. Доираи васеи барномаҳо.Раванди пошидани магнетрон метавонад унсурҳои зиёдеро ҷойгир кунад, маъмултаринашон инҳоянд: Ag, Au, C, Co, Cu, Fe, Ge, Mo, Nb, Ni, Os, Cr, Pd, Pt, Re, Rh, Si, Ta, Ti , Zr, SiO, AlO, GaAs, U, W, SnO ва ғайра.
Пӯшидани магнетрон яке аз равандҳои пӯшиши васеъ истифодашаванда барои ба даст овардани филмҳои баландсифат мебошад.Бо катодҳои нав, он истифодаи мақсадноки баланд ва сатҳи баланди пасандозӣ дорад.Технологияи Гуандун Чжэнхуа раванди пӯшонидани пошидани магнитронҳои вакуумӣ ҳоло дар пӯшонидани субстратҳои васеъ истифода мешавад.Раванд на танҳо барои гузоштани филми якқабата, балки барои рӯйпӯш кардани филми бисёрқабата истифода мешавад, илова бар ин, он инчунин дар рол ба рол барои бастабандии филми бастабандӣ, филми оптикӣ, ламинатсия ва дигар рӯйпӯшҳои филм истифода мешавад.
Вақти фиристодан: Ноябр-07-2022