Раванди пӯшонидани ионҳои манбаи камонҳои катодӣ асосан бо дигар технологияҳои пӯшиш якхела аст ва баъзе амалиётҳо ба монанди насб кардани қисмҳои корӣ ва чангкашак дигар такрор намешаванд.
1.Тоза кардани қисмҳои корӣ
Пеш аз пӯшиш ба камераи пӯшиш гази аргон бо вакууми 2×10-2Па ворид карда мешавад.
Таъмини қувваи барқи импулсро бо давраи кор 20% ва ғарази қисмҳои корӣ 800-1000В фаъол созед.
Ҳангоми ба кор андохтани қувваи камон разряди нури камони майдони сард ба вуҷуд меояд, ки аз манбаи камон миқдори зиёди ҷараёни электрон ва ҷараёни ионҳои титаниро бароварда, плазмаи зичии баландро ташкил медиҳад.Иони титан дар зери фишори манфии баланди ғаразнок, ки ба қисмҳои кор дода мешавад, сӯзандоруи худро ба қисмҳои коркард суръат мебахшад, боқимонда ва пошидани гази боқимонда ва ифлоскунандаҳои дар сатҳи коркардшуда адсорбшуда ва тоза ва тоза кардани сатҳи қисмҳои кор;Дар айни замон гази хлор дар камераи пӯшиш ба воситаи электронҳо ионизатсия мешавад ва ионҳои аргон бомбаборони сатҳи қисмҳои коркардро метезонанд.
Аз ин рӯ, таъсири тозакунии бомбаборон хуб аст.Танҳо тақрибан 1 дақиқаи тозакунии бомбаборон метавонад қисмати корро тоза кунад, ки онро "бомбгузории камонҳои асосӣ" меноманд.Аз сабаби зиёд будани массаи ионҳои титан, агар манбаи камон хурд барои бомбаборонкунӣ ва тоза кардани қисмҳои корӣ ба муддати тӯлонӣ истифода шавад, ҳарорати қисми кор ба аз ҳад зиёд гарм шудани он моил мешавад ва канори асбоб метавонад нарм шавад.Дар истеҳсолоти умумӣ, манбаъҳои камонҳои хурд як-як аз боло ба поён фурӯзон карда мешаванд ва ҳар як манбаи камон вақти тозакунии бомбаборон тақрибан 1 дақиқа дорад.
(1) Пӯшидани қабати поёни титан
Барои беҳтар кардани пайвастшавӣ байни плёнка ва субстрат, одатан пеш аз пӯшонидани нитриди титан як қабати субстрати софи титан пӯшонида мешавад.Сатҳи вакуумро ба 5 × 10-2-3 × 10-1Па танзим кунед, шиддати ғарази қисмҳои корро ба 400-500 В танзим кунед ва давраи кори таъминоти барқи импулсро то 40% ~ 50% танзим кунед.Ҳанӯз манбаъҳои хурди камонро як ба як оташ мезананд, то разряди камонҳои майдони сардро тавлид кунанд.Аз сабаби кам шудани шиддати манфии ќисмњои корї энергияи ионњои титан кам мешавад.Пас аз расидан ба порчаи кор, таъсири пошидан аз таъсири таҳшин камтар аст ва дар порчаи кор як қабати гузариши титан ба вуҷуд меояд, то қувваи пайвастшавӣ байни қабати филми сахти нитриди титан ва субстратро беҳтар кунад.Ин раванд инчунин раванди гарм кардани қисмҳои корӣ мебошад.Вақте ки ҳадафи титани пок холӣ мешавад, нур дар плазма кабуди кабуд аст.
1.Ammonated косаи молидани филми сахт
Дараҷаи вакуумро ба 3×10 танзим кунед-1-5Па, шиддати ғарази қисмҳои корро ба 100-200В танзим кунед ва давраи кори таъминоти барқи импулсро то 70% ~ 80% танзим кунед.Пас аз ворид кардани нитроген, титан реаксияи омехта бо плазмаи разряди камон барои гузоштани плёнкаи сахти нитриди титан мебошад.Дар ин лаҳза нури плазма дар камераи вакуумӣ сурхи гелос аст.Агар Ц2H2, О2, ва гайра чорй карда мешаванд, TiCN, TiO2, ва гайра кабатхои плёнка гирифтан мумкин аст.
-Ин мақоларо Гуандун Чжэнхуа нашр кардааст, аистеҳсолкунандаи мошини молидани чангкашак
Вақти фиристодан: июн-01-2023