TiN аввалин рӯйпӯши сахтест, ки дар асбобҳои буриш истифода мешавад, дорои афзалиятҳо ба монанди қувваи баланд, сахтии баланд ва муқовимат ба фарсуда.Ин аввалин маводи рӯйпӯши сахти саноатӣ ва васеъ истифодашаванда мебошад, ки дар асбобҳои пӯшида ва қолибҳои пӯшида ба таври васеъ истифода мешавад.Сарпӯши сахти TiN дар аввал бо технологияи гармидиҳии CVD дар 1000 ℃ гузошта шуд.Акнун онро дар ҳарорати 500 ℃ тавассути рӯйпӯши ионҳои катодӣ, қабати пошидани Магнетрон, рӯйпӯши ионҳои катодӣ, рӯйпӯши ионҳои сими гарм, PECVD ва технологияҳои дигар ба даст овардан мумкин аст.Ин рӯйпӯш муддати тӯлонӣ дар коркарди сатҳи металлӣ сахтгиранда ва истеҳсоли қолаби асбобҳо ва қолибҳои пӯлоди баландсуръат истифода мешавад.Гузоштани TiN дар ҳарорати 500 ℃ пешрав дар таҳшин кардани асбобҳои буридан бо истифода аз технологияи пӯшонидани ионҳо мусоидат мекунад.Дар ин замина барои қонеъ кардани талаботи рушди саноати коркарди баландсифат рӯйпӯшҳои гуногуни сахт бо ҷузъҳои гуногун таҳия карда шуданд: дар заминаи TiN рӯйпӯшҳои сахт бо сахтгии муқаррарии бинарӣ, секунҷа ва чорумӣ дар асоси нитридҳо ва карбидҳо таҳия карда шуданд. , инчунин рӯйпӯшҳои нано сахт дар асоси ин пӯшишҳои сахт, инчунин рӯйпӯшҳои сахти дохилӣ бо сахтии ултра баланд.
Нишондиҳандаи асосии кори рӯйпӯшҳои сахт сахтӣ мебошад.Аз рӯи сахтии рӯйпӯшҳо, рӯйпӯшҳои сахтро ба се намуд тақсим кардан мумкин аст: рӯйпӯшҳои сахти муқаррарӣ, рӯйпӯшҳои нано сахт ва рӯйпӯшҳои ботинии сахт / ниҳоят сахт, тавре ки дар ҷадвали зерин нишон дода шудааст.
- Ин мақоларо Гуандун Чжэнхуа нашр кардааст,истеҳсолкунандаи мошинҳои пӯшиши сахт.
Вақти фиристодан: июн-07-2023