Омилҳое, ки ба заҳролудшавии мақсаднок ҳангоми пошидани магнетрон таъсир мерасонанд, кадомҳоянд?

1, Ташаккули пайвастагиҳои металлӣ дар сатҳи ҳадаф
Пайвастшавӣ дар ҷараёни ташаккули пайвастагӣ аз сатҳи ҳадафи металлӣ тавассути ҷараёни реактивии пошидан дар куҷо ба вуҷуд меояд?Азбаски реаксияи химиявӣ байни зарраҳои гази реактивӣ ва атомҳои сатҳи ҳадаф атомҳои мураккабро ба вуҷуд меоранд, ки одатан экзотермикӣ мебошанд, гармии реаксия бояд роҳи ба амал баровардани он дошта бошад, вагарна реаксияи химиявӣ идома дода наметавонад.Дар шароити вакуум интиқоли гармӣ байни газҳо имконнопазир аст, бинобар ин реаксияи химиявӣ бояд дар сатҳи сахт сурат гирад.Пажӯҳиши реаксия пайвастагиҳоро дар сатҳи ҳадаф, сатҳи субстрат ва дигар сатҳҳои сохторӣ тавлид мекунад.Истеҳсоли пайвастагиҳо дар сатҳи субстрат ҳадаф аст, тавлиди пайвастагиҳо дар дигар сатҳҳои сохторӣ талафи захираҳо аст ва тавлиди пайвастагиҳо дар сатҳи ҳадаф ҳамчун манбаи атомҳои мураккаб оғоз мешавад ва монеа барои пайваста таъмин кардани атомҳои мураккаби бештар мегардад.

2, Омилҳои таъсири заҳролудшавии мақсаднок
Омили асосие, ки ба заҳролудшавии мақсаднок таъсир мерасонад, таносуби гази реаксия ва гази пошидан аст, гази аз ҳад зиёди реаксия ба заҳролудшавии мақсаднок оварда мерасонад.Раванди пошидани реактивӣ дар майдони пошидани сатҳи ҳадаф амалӣ карда мешавад, ки ба назар чунин менамояд, ки бо пайвастагии реаксия фаро гирифта шудааст ё пайвастагии реаксия канда шуда, сатҳи металлӣ дубора фош карда мешавад.Агар суръати тавлиди пайвастагиҳо аз суръати кандашавии омехта зиёд бошад, майдони фарогирии омехта зиёд мешавад.Дар ќувваи муайян микдори гази реаксия, ки дар тавлиди пайвастагињо иштирок мекунад, зиёд мешавад ва суръати тавлиди пайвастагињо меафзояд.Агар миқдори гази реаксия аз ҳад зиёд зиёд шавад, майдони фарогирии таркиб зиёд мешавад.Ва агар суръати гардиши гази реаксияро сари вақт танзим кардан ғайриимкон бошад, суръати афзоиши майдони фарогирии таркибҳо қатъ карда намешавад ва канали пошидан минбаъд бо пайвастагиҳо фаро гирифта мешавад, вақте ки ҳадафи пошидан бо пайвастагӣ пурра фаро гирифта мешавад, ҳадаф аст. тамоман заҳролуд шудааст.

3, Падидаи заҳролудшавии мақсаднок
(1) ҷамъшавии ионҳои мусбат: ҳангоми заҳролудшавии ҳадаф, дар сатҳи ҳадаф қабати филми изолятсия ба вуҷуд меояд, ионҳои мусбӣ аз сабаби баста шудани қабати изолятсия ба сатҳи ҳадафи катод мерасанд.Ба сатҳи ҳадафи катод мустақиман ворид нашавед, балки дар сатҳи мавриди ҳадаф ҷамъ мешаванд, ба осонӣ майдони сард ба разряди камон ҳосил мешавад - камон, то пошидани катод идома наёбад.
(2) нопадидшавии анод: вақте ки заҳролудшавии ҳадаф, девори камераи вакуумӣ инчунин филми изолятсияро гузоштааст, ки ба электронҳои анод расида наметавонанд ба анод дохил шаванд, ташаккули падидаи нопадидшавии анод.

4, Шарҳи физикии заҳролудшавии ҳадаф
(1) Умуман, коэффисиенти электронии дуюмдараҷаи пайвастагиҳои металлӣ нисбат ба металлҳо баландтар аст.Пас аз захролудшавии њадаф сатњи њадаф њамаи пайвастагињои металлї буда, баъди бо ионњо бомбаборон шудан шумораи электронњои дуюмдараљаи рањошуда зиёд мешавад, ки гузариши фазоро бењтар мекунад ва муќовимати плазмаро кам мекунад, ки боиси паст шудани шиддати пошидан мегардад.Ин суръати пошиданро кам мекунад.Умуман, шиддати пошидани пошидани магнетрон байни 400В-600В аст ва ҳангоми заҳролудшавии ҳадаф, шиддати пошидан ба таври назаррас коҳиш меёбад.
(2) Ҳадафи металлӣ ва ҳадафи мураккаб дар ибтидо суръати пошидани пошидан гуногун аст, дар маҷмӯъ коэффисиенти пошидани металл аз коэффисиенти пошидани таркиб баландтар аст, бинобар ин суръати пошидан пас аз заҳролудшавии ҳадаф паст аст.
(3) Самаранокии пошидани гази реактивӣ дар ибтидо аз самаранокии пошидани гази инертӣ пасттар аст, бинобар ин суръати ҳамаҷонибаи пошидан пас аз афзоиши ҳиссаи гази реактивӣ коҳиш меёбад.

5, Роҳҳо барои заҳролудшавии мақсаднок
(1) Таъмини барқи басомади миёна ё таъминоти барқии басомади радиоро қабул кунед.
(2) Назорати пӯшидаи гардиши гази реаксияро қабул кунед.
(3) Ҳадафҳои дугонаро қабул кунед
(4) Тағйир додани ҳолати пӯшишро назорат кунед: Пеш аз пӯшиш, каҷи эффекти гистерезии заҳролудшавии мақсаднок ҷамъоварӣ карда мешавад, то ҷараёни ҳавои воридотӣ дар пеши истеҳсоли заҳролудшавии ҳадаф назорат карда шавад, то боварӣ ҳосил кунед, ки раванд ҳамеша дар реҷаи пеш аз пошидан аст. ставка якбора паст мешавад.

-Ин мақола аз ҷониби Guangdong Zhenhua Technology, истеҳсолкунандаи таҷҳизоти пӯшиши вакуумӣ нашр шудааст.