Дарпӯшонидани вакуумӣраванди мошин ба тақсим мешавад: молидани бухоршавӣ вакуумӣ, молидани пошидани вакуумӣ ва молидани ion вакуумӣ.
1, Қабати бухоршавии вакуумӣ
Дар ҳолати вакуум, маводро бухор кунед, ба монанди металл, хӯлаи металлӣ ва ғайра. Пас онҳоро дар сатҳи субстрат ҷойгир кунед, усули пӯшонидани бухоршавӣ аксар вақт гармидиҳии муқовиматро истифода мебарад ва сипас бомбгузории чӯби электронии маводи рӯйпӯш, онҳоро созед. ба марҳилаи газ бухор мешавад, сипас дар сатҳи субстрат гузоред, таърихан, таҳшини буғи вакуумӣ технологияи қаблӣ дар усули PVD истифода мешавад.
2, Сарпӯши пошидан
Газ дар шароити вакууми пур аз (Ar) ба разряди дурахшанда дучор мешавад. Дар айни замон атомҳои аргон (Ar) ба ионҳои нитроген (Ar) мубаддал мешаванд, ионҳо бо қувваи майдони электрикӣ суръат мегиранд ва ҳадафи катодро бомбаборон мекунанд. аз маводи пӯшиш сохта шудааст, ҳадаф пошида мешавад ва дар сатҳи субстрат ҷойгир карда мешавад. Ионҳои ҳодиса дар рӯйпӯши пошидан, ки одатан тавассути партовҳои шуоъ ба даст омадаанд, дар ҳудуди 10-2па то 10Па мебошанд， Аз ин рӯ зарраҳои пошида ба осонӣ бархӯрданд. бо молекулаҳои газ дар камераи вакуумӣ ҳангоми парвоз ба сӯи субстрат, самти ҳаракатро тасодуфӣ мегардонад ва филми гузошташударо якранг осон мекунад.
3, Пӯшидани ион
Дар шароити вакуум, Дар шароити вакуум, барои қисман ионизатсия кардани атомҳои маводи рӯйпӯш ба ионҳо як усули муайяни ионизатсияи плазма истифода мешавад. Дар айни замон бисёр атомҳои нейтралии энергияи баланд ба вуҷуд меоянд, ки ба субстрат манфӣ доранд. Дар ин роҳ, ионҳо дар сатҳи субстрат дар зери як ғарази амиқи манфӣ ҷойгир карда, филми тунукро ташкил медиҳанд.
Вақти фиристодан: 23 март-2023