Ин силсилаи таҷҳизот ҳадафҳои магнетронро барои табдил додани маводи пӯшиш ба зарраҳои андозаи нанометрӣ истифода мебарад, ки дар рӯи субстратҳо барои ташаккул додани филмҳои тунук ҷойгир карда мешаванд.Плёнкаи прокат дар камераи вакуумй гузошта мешавад.Тавассути сохтори печи электрикӣ, як канораш плёнкаро қабул мекунад ва дигараш плёнкаро мегузорад.Он аз минтақаи мавриди ҳадаф гузаштанро идома медиҳад ва зарраҳои ҳадафро қабул мекунад, то як филми зичро ташкил кунад.
Хусусият:
1. Ташаккули филми ҳарорати паст.Ҳарорат ба филм каме таъсир мерасонад ва деформатсияро ба вуҷуд намеорад.Он барои PET, PI ва дигар плёнкаҳои асосии моддӣ мувофиқ аст.
2. Ғафсии филм метавонад тарҳрезӣ шавад.Қабати борик ё ғафсро тавассути танзими раванд тарҳрезӣ ва гузоштан мумкин аст.
3. Тарҳрезии макони мақсадноки сершумор, раванди чандир.Тамоми мошин метавонад бо ҳашт ҳадаф муҷаҳҳаз карда шавад, ки онҳоро ҳамчун ҳадафҳои оддии металлӣ ё ҳадафҳои мураккаб ва оксид истифода бурдан мумкин аст.Он метавонад барои тайёр кардани плёнкаҳои якқабатаи дорои як сохтор ё плёнкаҳои бисёрқабатаи дорои сохтори таркибӣ истифода шавад.Раванд хеле чандир аст.
Таҷҳизот метавонад филми муҳофизаткунандаи электромагнитӣ, рӯйпӯши тахтаи чандир, филмҳои гуногуни диэлектрикӣ, филми бисёрқабатаи AR, филми антирефлексионии HR, филми ранга ва ғайраро омода кунад. бо гузоштани фильми якдафъаина анчом додан мумкин аст.
Таҷҳизот метавонад ҳадафҳои оддии металлӣ ба монанди Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl ва ғайра ё ҳадафҳои мураккабро ба монанди SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO ва ғайра қабул кунад.
Таҷҳизот аз ҷиҳати ҳаҷм хурд, тарҳи сохтори паймон, майдони фарш хурд, истеъмоли энергия кам ва дар танзим чандир аст.Он барои тадқиқот ва коркарди равандҳо ё истеҳсоли оммавии партияи хурд хеле мувофиқ аст.