Дарвоқеъ, технологияи таҳшинсозии нури ионӣ технологияи таркибӣ мебошад.Ин як усули муолиҷаи таркибии ионҳои сатҳи рӯизаминӣ мебошад, ки имплантатсияи ионҳо ва технологияи плёнкаи таҳшиншавии физикии буғ ва як намуди нави техникаи оптимизатсияи сатҳи чӯбро дар бар мегирад.Илова бар бартариҳои таҳшиншавии буғи ҷисмонӣ, ин техника метавонад ҳама гуна плёнкаи ғафсӣро дар шароити назорати сахттар муттасил афзоиш диҳад, кристаллӣ ва самти қабати филмро ба таври назаррас беҳтар созад, қобилияти часпидани қабати плёнка / субстратро афзоиш диҳад, зичии онро беҳтар созад. қабати плёнка ва синтези плёнкаҳои мураккабро бо таносуби идеалии стехиометрӣ дар ҳарорати наздики хонагӣ, аз ҷумла навъҳои нави плёнкаҳоеро, ки дар ҳарорати хонагӣ ва фишор ба даст намеоранд.Ҷойгиркунии нури ионӣ на танҳо бартариҳои раванди имплантатсияи ионҳоро нигоҳ медорад, балки метавонад субстратро бо плёнкаи тамоман дигар аз субстрат пӯшонад.
Дар ҳама намудҳои таҳшиншавии буғи физикӣ ва буғҳои кимиёвӣ, як қатор таппончаҳои ёрирасони ионҳои бомбаборонро барои ташкили системаи IBAD илова кардан мумкин аст ва ду раванди умумии IBAD ба таври зерин мавҷуданд, тавре ки дар расм нишон дода шудааст:
Тавре ки дар расм (a) нишон дода шудааст, манбаи бухоршавии шуои электронӣ барои шуоъ кардани қабати филм бо шуои ион аз таппончаи ионӣ истифода мешавад ва ба ин васила таҳшиншавии шуои иониро амалӣ мекунад.Бартарӣ дар он аст, ки энергия ва самти нури ионҳоро метавон танзим кард, аммо танҳо як хӯлаи ягона ё маҳдуд метавонад ҳамчун манбаи бухоршавӣ истифода шавад ва ҳар як фишори буғи ҷузъ ва пайвастагии хӯла гуногун аст, ки ин корро душвор мекунад. барои ба даст овардани қабати плёнкаи таркиби аслии бухоршавӣ.
Тасвири (б) таҳшиншавии шуои иониро бо ёрии пошидани ионҳо нишон медиҳад, ки онро инчунин бо номи таҳшини дукаратаи пошидани ионҳо меноманд, ки дар он ҳадаф аз маводи рӯйпӯши пошидани нури ионӣ сохта шудааст, маҳсулоти пошидан ҳамчун манбаъ истифода мешавад.Ҳангоми гузоштани он ба субстрат, пошидани нури ионӣ тавассути нурдиҳӣ бо манбаи дигари ион ба даст меояд.Бартарии ин усул дар он аст, ки худи заррачаҳои пошида энергияи муайян доранд, бинобар ин бо субстрат беҳтар часпида мешавад;ҳар як ҷузъи ҳадаф метавонад пӯшиши пошида шавад, аммо инчунин метавонад реаксия ба плёнка пошида шавад, танзим кардани таркиби филм осон аст, аммо самаранокии таҳшиншавии он паст аст, ҳадаф гарон аст ва мушкилоте ба монанди пошидани интихобӣ вуҷуд доранд.
Вақти фиристодан: Ноябр-08-2022