1, Хусусиятҳои пӯшиши пошхӯрӣ
Дар муқоиса бо молидани бухоркунии вакуумӣ, қабати пошидан дорои хусусиятҳои зерин мебошад:
(1) Ҳар гуна модда метавонад пошида шавад, махсусан нуқтаи обшавии баланд, элементҳои фишори буғ ва пайвастагиҳо.То он даме, ки он сахт аст, хоҳ он металл, нимноқил, изолятор, пайвастагӣ ва омехта ва ғайра бошад, хоҳ блок бошад, маводи гранулӣ метавонад ҳамчун маводи мавриди ҳадаф истифода шавад.Азбаски ҳангоми пошидани масолеҳи изолятсия ва хӯлаҳо ба монанди оксидҳо каме таҷзия ва фраксия ба амал меояд, онҳоро метавон барои тайёр кардани плёнкаҳои тунук ва плёнкаҳои хӯлаи дорои ҷузъҳои якхела ба ҷузъҳои маводи мавриди ҳадаф ва ҳатто плёнкаҳои суперноқили дорои таркибҳои мураккаб истифода бурдан мумкин аст.” Илова бар ин, усули пошидани реактивиро инчунин барои тавлиди филмҳои пайвастагиҳои аз маводи мавриди ҳадаф комилан фарқкунанда, аз қабили оксидҳо, нитридҳо, карбидҳо ва силицидҳо истифода бурдан мумкин аст.
(2) Пайвастшавии хуб байни филми пошида ва субстрат.Азбаски энергияи атомҳои пошидашуда аз энергияи атомҳои бухоршуда 1-2 дараҷа зиёдтар аст, дар натиҷаи табдили энергияи заррачаҳои энергияи баланд, ки дар зеризаминӣ ҷойгир шудаанд, энергияи гармии баландро ба вуҷуд меорад, ки пайвастшавии атомҳои пошидаро ба субстрат зиёд мекунад.Як қисми атомҳои пошидашудаи энергияи баланд ба дараҷаҳои гуногун ворид карда мешаванд ва дар субстрат қабати ба истилоҳ псевдодиффузияро ташкил медиҳанд, ки дар он атомҳои пошида ва атомҳои маводи субстрат бо ҳамдигар “омехта мешаванд”.Илова бар ин, ҳангоми бомбаборон кардани зарраҳои пошидан субстрат ҳамеша дар минтақаи плазма тоза ва фаъол карда мешавад, ки атомҳои суст часпидашударо хориҷ мекунад, сатҳи субстратро тоза мекунад ва фаъол мекунад.Дар натича часпидани кабати плёнкаи пошидашуда ба субстрат хеле зиёд мешавад.
(3) Зичии баланди пӯшиши пошида, сӯрохиҳои камтар ва тозагии баландтари қабати филм, зеро ифлосшавии тигел вуҷуд надорад, ки ҳангоми таҳшиншавии буғи вакуумӣ дар ҷараёни пӯшиши пошидан ногузир аст.
(4) Назорати хуб ва такроршавандагии ғафсии филм.Азбаски ҷараёни разряд ва ҷараёни ҳадафро ҳангоми пӯшонидани пошидан алоҳида идора кардан мумкин аст, ғафсии филмро тавассути назорати ҷараёни ҳадаф назорат кардан мумкин аст, аз ин рӯ, идорашавандагии ғафсии филм ва такроршавандагии ғафсии филм тавассути пошидани чандкаратаи қабати пошхӯрӣ хуб аст. , ва филми ғафсии пешакӣ муайяншуда метавонад ба таври самаранок пӯшонида шавад.Илова бар ин, пӯшиши пошида метавонад ғафсии якхелаи филмро дар майдони калон ба даст орад.Бо вуҷуди ин, барои технологияи умумии пошидани пошидан (асосан пошидани дипол), таҷҳизот мураккаб аст ва дастгоҳи фишори баландро талаб мекунад;суръати ташаккули филми таҳшиншавии пошидан паст аст, суръати таҳшиншавии бухоршавии вакуумӣ 0,1 ~ 5 нм/дақ аст, дар ҳоле ки суръати пошидан 0,01 ~ 0,5 нм/дақ аст;болоравии ҳарорати субстрат баланд ва осебпазир ба гази наҷосат ва ғайра аст. Аммо, аз сабаби рушди технологияи пошидани RF ва магнетронӣ, пешрафти бузург дар ноил шудан ба таҳшиншавии зуд ва паст кардани ҳарорати субстрат ба даст оварда шудааст.Ғайр аз он, дар солҳои охир, усулҳои нави пӯшидани пошидани пошидан - дар асоси пошидани магнитронҳои ҳамвор - барои ба ҳадди ақал расонидани фишори ҳавои пошидан то пошидани фишори сифрӣ, ки фишори гази гирифташуда ҳангоми пошидан ба сифр хоҳад буд, таҳқиқ карда мешаванд.
Вақти фиристодан: Ноябр-08-2022