Умуман, реаксияҳои CVD ба ҳарорати баланд такя мекунанд, аз ин рӯ таҳшиншавии буғи кимиёвии аз ҷиҳати гармӣ ҳаяҷоновар (TCVD) номида мешавад.Он одатан прекурсорҳои ғайриорганикиро истифода мебарад ва дар реакторҳои девори гарм ва хунук иҷро карда мешавад.Усулҳои гармкунии он гармкунии басомади радио (RF), гармкунии радиатсияи инфрасурх, гармкунии муқовимат ва ғайраро дар бар мегиранд.
Ҷойгиршавии буғи химиявии девори гарм
Воқеан, реактори таҳшинсозии буғи химиявии девори гарм як кӯраи термостатикӣ мебошад, ки одатан бо унсурҳои муқовиматкунанда барои истеҳсоли фосилавӣ гарм карда мешавад.Нақшаи иншооти истеҳсоли буғи химиявии дар девори гарм пӯшонидани асбобҳои чипӣ ба таври зерин нишон дода шудааст.Ин таҳшиншавии буғи химиявии девори гарм метавонад TiN, TiC, TiCN ва дигар филмҳои тунукро пӯшонад.Реакторро метавон ба андозаи кофӣ тарҳрезӣ кард ва пас шумораи зиёди ҷузъҳоро нигоҳ дорад ва шароитро барои таҳшин хеле дақиқ назорат кардан мумкин аст.Дар расми 1 дастгоҳи қабати эпитаксиалӣ барои допинги кремнийи истеҳсоли дастгоҳи нимноқил нишон дода шудааст.Субстрат дар танӯр дар самти амудӣ ҷойгир карда мешавад, то ифлосшавии сатҳи таҳшинро бо зарраҳо кам кунад ва бори истеҳсолотро хеле зиёд кунад.Реакторҳои девори гарм барои истеҳсоли нимноқилҳо одатан дар фишори паст кор мекунанд.
Вақти фиристодан: Ноябр-08-2022