อุปกรณ์ใช้เทคโนโลยีการระเหยของลำแสงอิเล็กตรอนอิเล็กตรอนถูกปล่อยออกมาจากไส้หลอดแคโทดและโฟกัสไปที่กระแสลำแสงหนึ่ง ซึ่งถูกเร่งโดยศักย์ไฟฟ้าระหว่างแคโทดและถ้วยใส่ตัวอย่างเพื่อละลายและระเหยวัสดุเคลือบผิวมีลักษณะความหนาแน่นของพลังงานสูงและสามารถระเหยวัสดุเคลือบที่มีจุดหลอมเหลวมากกว่า 3,000 ℃ฟิล์มมีความบริสุทธิ์สูงและประสิทธิภาพเชิงความร้อนสูง
อุปกรณ์นี้มาพร้อมกับแหล่งกำเนิดการระเหยของลำแสงอิเล็กตรอน แหล่งกำเนิดไอออน ระบบตรวจสอบความหนาของฟิล์ม โครงสร้างการแก้ไขความหนาของฟิล์ม และระบบหมุนชิ้นงานร่มที่เสถียรการเคลือบผิวด้วยแหล่งกำเนิดไอออนช่วยเพิ่มความกะทัดรัดของฟิล์ม ดัชนีการหักเหของแสงจะเสถียร และหลีกเลี่ยงปรากฏการณ์การเปลี่ยนแปลงของความยาวคลื่นเนื่องจากความชื้นระบบตรวจสอบความหนาของฟิล์มอัตโนมัติแบบเรียลไทม์สามารถรับประกันความสามารถในการทำซ้ำและความเสถียรของกระบวนการมีฟังก์ชันละลายตัวเองเพื่อลดการพึ่งพาทักษะของผู้ปฏิบัติงาน
อุปกรณ์นี้ใช้ได้กับออกไซด์และวัสดุเคลือบโลหะต่างๆ และสามารถเคลือบด้วยฟิล์มกรองแสงที่มีความแม่นยำหลายชั้น เช่น ฟิล์ม AR, คลื่นยาว, คลื่นสั้น, ฟิล์มเพิ่มความสดใส, ฟิล์ม AS / AF, IRCUT, ระบบฟิล์มสี , ระบบฟิล์มไล่ระดับสี ฯลฯ มีการใช้กันอย่างแพร่หลายในแว่นตา AR, เลนส์ออปติคัล, กล้อง, เลนส์ออปติคัล, ฟิลเตอร์, อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ฯลฯ