HFCVD0606

ห้องเคลือบสุญญากาศของอุปกรณ์สะสมไอสารเคมีใช้โครงสร้างระบายความร้อนด้วยน้ำสองชั้นแบบอิสระ ซึ่งมีประสิทธิภาพและสม่ำเสมอในการทำความเย็น และมีโครงสร้างที่ปลอดภัยและมั่นคงอุปกรณ์ได้รับการออกแบบให้มีประตูคู่ หน้าต่างสังเกตการณ์หลายบาน และอินเทอร์เฟซการขยายหลายช่อง ซึ่งสะดวกสำหรับการเชื่อมต่อภายนอกของอุปกรณ์ต่อพ่วงเสริม เช่น การวัดอุณหภูมิอินฟราเรด การวิเคราะห์สเปกตรัม การตรวจสอบวิดีโอ และเทอร์โมคัปเปิลแนวคิดการออกแบบขั้นสูงทำให้การยกเครื่องและการบำรุงรักษารายวัน การเปลี่ยนการกำหนดค่าและการอัปเกรดอุปกรณ์ทำได้ง่ายและสะดวก อีกทั้งยังช่วยลดค่าใช้จ่ายในการใช้และการอัปเกรดได้อย่างมีประสิทธิภาพ

คุณสมบัติของอุปกรณ์:

1. ส่วนประกอบการพองตัวของอุปกรณ์ส่วนใหญ่ประกอบด้วยเครื่องวัดอัตราการไหลของมวล โซลินอยด์วาล์ว และถังผสมก๊าซ ซึ่งช่วยให้มั่นใจได้ถึงการควบคุมการไหลของก๊าซในกระบวนการ การผสมที่สม่ำเสมอ และการแยกก๊าซต่างๆ อย่างปลอดภัย และสามารถเลือกส่วนประกอบของระบบก๊าซสำหรับการใช้งาน แหล่งก๊าซเหลว อำนวยความสะดวกในการเลือกแหล่งคาร์บอนเหลวที่หลากหลายและการใช้เพชรสังเคราะห์ที่เป็นสื่อกระแสไฟฟ้าและแหล่งกำเนิดโบรอนเหลวของอิเล็กโทรดได้อย่างปลอดภัย
2. ชุดประกอบการสกัดอากาศมาพร้อมกับปั๊มสุญญากาศใบพัดหมุนที่เงียบและมีประสิทธิภาพ และระบบปั๊มโมเลกุลเทอร์โบที่สามารถตอบสนองสภาพแวดล้อมเบื้องหลังที่มีสุญญากาศสูงได้อย่างรวดเร็วเกจวัดสุญญากาศคอมโพสิตพร้อมเกจวัดความต้านทานและเกจวัดไอออไนเซชันใช้สำหรับวัดสุญญากาศ เช่นเดียวกับระบบเกจฟิล์มแบบคาปาซิทีฟ ซึ่งสามารถวัดความดันของก๊าซในกระบวนการต่างๆ ในช่วงกว้างแรงดันสะสมถูกควบคุมโดยอัตโนมัติโดยวาล์วควบคุมสัดส่วนที่มีความแม่นยำสูง
3. ส่วนประกอบน้ำหล่อเย็นมีแรงดันน้ำหลายช่อง การไหล การวัดอุณหภูมิ และซอฟต์แวร์ตรวจสอบอัตโนมัติส่วนประกอบการระบายความร้อนที่แตกต่างกันเป็นอิสระจากกัน ซึ่งสะดวกสำหรับการวินิจฉัยข้อบกพร่องอย่างรวดเร็วทุกสาขามีสวิตช์วาล์วอิสระ ซึ่งปลอดภัยและมีประสิทธิภาพ
4. ส่วนประกอบควบคุมไฟฟ้าใช้หน้าจอ LCD ส่วนต่อประสานระหว่างคนกับเครื่องจักรขนาดใหญ่และร่วมมือกับการควบคุมอัตโนมัติเต็มรูปแบบของ PLC เพื่ออำนวยความสะดวกในการแก้ไขและนำเข้าสูตรกระบวนการเส้นโค้งกราฟิกแสดงการเปลี่ยนแปลงและค่าของพารามิเตอร์ต่างๆ ด้วยสายตา และพารามิเตอร์อุปกรณ์และกระบวนการจะถูกบันทึกและเก็บถาวรโดยอัตโนมัติเพื่ออำนวยความสะดวกในการติดตามปัญหาและการวิเคราะห์ข้อมูลทางสถิติ
5.ชั้นวางชิ้นงานติดตั้งเซอร์โวมอเตอร์เพื่อควบคุมการยกและลดระดับของตารางวัสดุพิมพ์สามารถเลือกตารางพื้นผิวกราไฟต์หรือทองแดงแดงได้อุณหภูมิวัดโดยเทอร์โมคัปเปิล
6. ส่วนประกอบของชั้นวางสามารถออกแบบทั้งหมดหรือแยกกันตามความต้องการของลูกค้าเพื่อตอบสนองความต้องการในการจัดการพิเศษของลูกค้า
7. ส่วนประกอบของแผ่นปิดผนึกมีความสวยงามและสง่างามแผ่นปิดผนึกในพื้นที่โมดูลการทำงานต่างๆ ของอุปกรณ์สามารถถอดประกอบหรือเปิดและปิดได้อย่างอิสระอย่างรวดเร็ว ซึ่งสะดวกในการใช้งานมาก

อุปกรณ์ CVD แบบฟิลาเมนต์ร้อนเหมาะสำหรับการฝากวัสดุเพชร รวมถึงการเคลือบฟิล์มบาง ฟิล์มหนาที่รองรับตัวเอง เพชรไมโครคริสตัลไลน์และนาโนคริสตัลไลน์ เพชรนำไฟฟ้า ฯลฯ ส่วนใหญ่จะใช้สำหรับการเคลือบป้องกันการสึกหรอของเครื่องมือตัดซีเมนต์คาร์ไบด์ วัสดุเซมิคอนดักเตอร์ เช่น ซิลิกอนและซิลิกอนคาร์ไบด์ การเคลือบเพื่อกระจายความร้อนของอุปกรณ์ อิเล็กโทรดเพชรที่นำไฟฟ้าเจือด้วยโบรอน การฆ่าเชื้อด้วยโอโซนของน้ำอิเล็กโทรไลต์หรือการบำบัดน้ำเสีย