ข้อดีของชิ้นงานทรงกระบอก

1) เป้าหมายทรงกระบอกมีอัตราการใช้งานสูงกว่าเป้าหมายระนาบในขั้นตอนการเคลือบ ไม่ว่าจะเป็นชิ้นงานสปัตเตอร์แบบแม่เหล็กหมุนหรือชิ้นงานสปัตเตอร์ทรงกระบอกแบบท่อโรตารี ทุกส่วนของพื้นผิวของท่อเป้าหมายจะผ่านพื้นที่สปัตเตอร์ที่สร้างขึ้นด้านหน้าแม่เหล็กถาวรอย่างต่อเนื่องเพื่อรับการสปัตเตอร์แคโทด และ เป้าหมายสามารถสลักสปัตเตอร์อย่างสม่ำเสมอและอัตราการใช้เป้าหมายสูงอัตราการใช้วัสดุเป้าหมายอยู่ที่ประมาณ 80%~90%

2) เป้าหมายทรงกระบอกจะสร้าง "เป้าหมายเป็นพิษ" ได้ไม่ยากในระหว่างกระบวนการเคลือบ พื้นผิวของท่อเป้าหมายจะถูกพ่นและกัดด้วยไอออนเสมอ และไม่ง่ายที่จะสะสมออกไซด์หนาและฟิล์มฉนวนอื่นๆ บนพื้นผิว และไม่ใช่เรื่องง่ายที่จะเกิด "พิษต่อเป้าหมาย"

3) โครงสร้างของเป้าหมายการสปัตเตอร์ทรงกระบอกของท่อเป้าหมายแบบโรตารี่นั้นเรียบง่ายและง่ายต่อการติดตั้ง

4) วัสดุท่อเป้าหมายทรงกระบอกมีหลายประเภทเป้าหมายระนาบกับเป้าหมายโลหะระบายความร้อนด้วยน้ำโดยตรง และบางส่วนไม่สามารถแปรรูปและสร้างชิ้นงานทรงกระบอกได้ เช่น เป้าหมาย In2-SnO2 ฯลฯ ด้วยวัสดุผงสำหรับการกดแบบไอโซสแตติกร้อนเพื่อให้ได้ชิ้นงานแบบแผ่น เนื่องจากไม่สามารถทำขนาดได้ มีขนาดใหญ่และเปราะ ดังนั้น จึงจำเป็นต้องใช้วิธีการประสานและแผ่นหลังทองแดงเพื่อประกอบและติดตั้งบนฐานเป้าหมายนอกจากท่อโลหะแล้ว เป้าเสายังสามารถพ่นบนพื้นผิวท่อสแตนเลสด้วยวัสดุต่างๆ ที่ต้องการเคลือบ เช่น Si, Cr เป็นต้น

ปัจจุบัน สัดส่วนของเป้าหมายทรงกระบอกสำหรับการเคลือบผิวในการผลิตทางอุตสาหกรรมมีมากขึ้นเป้าหมายทรงกระบอกไม่เพียงแต่ใช้สำหรับเครื่องเคลือบแนวตั้งเท่านั้น แต่ยังใช้ในเครื่องเคลือบแบบม้วนต่อม้วนอีกด้วยในช่วงไม่กี่ปีที่ผ่านมา เป้าแฝดระนาบค่อยๆ ถูกแทนที่ด้วยเป้าแฝดทรงกระบอก

—— บทความนี้เผยแพร่โดย Guangdong Zhenhua Technology, aผู้ผลิตเครื่องเคลือบผิวด้วยแสง.