ข้อกำหนดด้านสิ่งแวดล้อมสำหรับอุปกรณ์เคลือบสูญญากาศ

เนื่องจากอุปกรณ์เคลือบสูญญากาศทำงานภายใต้สภาวะสุญญากาศ อุปกรณ์ต้องเป็นไปตามข้อกำหนดของสุญญากาศสำหรับสิ่งแวดล้อมมาตรฐานอุตสาหกรรมสำหรับอุปกรณ์เคลือบสุญญากาศประเภทต่างๆ ที่กำหนดขึ้นในประเทศของฉัน (รวมถึงเงื่อนไขทางเทคนิคทั่วไปสำหรับอุปกรณ์เคลือบสุญญากาศ อุปกรณ์เคลือบไอออนสุญญากาศ อุปกรณ์เคลือบสปัตเตอริงสุญญากาศ และอุปกรณ์เคลือบการระเหยด้วยสุญญากาศ) ได้กำหนดข้อกำหนดด้านสิ่งแวดล้อมไว้อย่างชัดเจนการปฏิบัติตามข้อกำหนดด้านสิ่งแวดล้อมของอุปกรณ์เคลือบสูญญากาศเท่านั้นที่อุปกรณ์จะทำงานได้ตามปกติ และด้วยกระบวนการเคลือบที่ถูกต้อง จึงจะสามารถผลิตผลิตภัณฑ์เคลือบที่มีคุณสมบัติเหมาะสมได้

ข้อกำหนดของสภาพแวดล้อมสุญญากาศโดยทั่วไปรวมถึงข้อกำหนดของอุปกรณ์สุญญากาศสำหรับสภาพแวดล้อมโดยรอบ เช่น อุณหภูมิของห้องปฏิบัติการ (หรือเวิร์กช็อป) กำไรน้อยในอากาศ และข้อกำหนดสำหรับชิ้นส่วนหรือพื้นผิวในสถานะสุญญากาศหรือใน สูญญากาศสองด้านนี้เกี่ยวข้องกันอย่างใกล้ชิดคุณภาพของสภาพแวดล้อมโดยรอบส่งผลโดยตรงต่อการใช้งานปกติของอุปกรณ์สุญญากาศ และการทำความสะอาดห้องสุญญากาศของอุปกรณ์สุญญากาศหรือชิ้นส่วนที่โหลดเข้าไปนั้นส่งผลโดยตรงต่อประสิทธิภาพของอุปกรณ์หรือไม่หากอากาศมีไอน้ำและฝุ่นละอองจำนวนมาก และห้องสุญญากาศไม่ได้รับการทำความสะอาด การปั๊มอากาศให้ได้ระดับสุญญากาศตามที่ต้องการเป็นเรื่องยากอย่างที่เราทราบกันดีว่าปั๊มเชิงกลแบบซีลน้ำมันไม่เหมาะสำหรับการสูบก๊าซที่กัดกร่อนโลหะ ทำปฏิกิริยาทางเคมีกับน้ำมันสุญญากาศ และมีฝุ่นละอองไอน้ำเป็นก๊าซที่ควบแน่นได้เมื่อปั๊มสูบก๊าซควบแน่นจำนวนมาก มลพิษของน้ำมันปั๊มจะรุนแรงมากขึ้นเป็นผลให้สูญญากาศสูงสุดของปั๊มจะลดลงและประสิทธิภาพการสูบน้ำของปั๊มจะถูกทำลาย

สภาพการทำงานปกติของอุปกรณ์เคลือบสูญญากาศคือ:

① อุณหภูมิแวดล้อม 10~30℃;

② ความชื้นสัมพัทธ์ไม่เกิน 70%;

③ อุณหภูมิขาเข้าของน้ำหล่อเย็นไม่สูงกว่า 25°C;

④ คุณภาพน้ำหล่อเย็น น้ำประปาของเมืองหรือน้ำที่มีคุณภาพเทียบเท่า

⑤แรงดันไฟฟ้าของแหล่งจ่ายไฟ: 380V, 3 เฟส 50Hz หรือ 220V, เฟสเดียว 50Hz (ขึ้นอยู่กับความต้องการของเครื่องใช้ไฟฟ้าที่ใช้), ช่วงความผันผวนของแรงดันไฟฟ้า 342~399V หรือ 198~231V, ช่วงความผันผวนของความถี่ 49~51Hz;

⑥ความดัน อุณหภูมิ และปริมาณการใช้ควรระบุไว้ในคู่มือการใช้งานผลิตภัณฑ์

⑦ สภาพแวดล้อมรอบๆ อุปกรณ์สะอาดและอากาศสะอาด ไม่ควรมีฝุ่นหรือก๊าซที่อาจก่อให้เกิดการกัดกร่อนพื้นผิวของเครื่องใช้ไฟฟ้าและชิ้นส่วนโลหะอื่นๆ หรือทำให้เกิดการนำไฟฟ้าระหว่างโลหะ

นอกจากนี้ ห้องปฏิบัติการหรือโรงงานที่มีอุปกรณ์เคลือบสูญญากาศตั้งอยู่ควรรักษาความสะอาดและถูกสุขลักษณะพื้นเป็นหินขัดหรือพื้นไม้ พ่นสี ปลอดฝุ่นเพื่อป้องกันไม่ให้ก๊าซที่ปล่อยออกมาจากปั๊มเชิงกลสร้างมลพิษต่อสภาพแวดล้อมในห้องปฏิบัติการ จึงสามารถใช้ที่พอร์ตไอเสียของปั๊มได้ติดตั้งท่อระบายอากาศ (โลหะ, ท่อยาง) บนพื้นผิวเพื่อปล่อยก๊าซออกสู่ภายนอก