ขั้นตอนการไหลของเครื่องเคลือบสปัตเตอริง

1. พื้นผิวทำความสะอาดการทิ้งระเบิด

1.1) เครื่องเคลือบสปัตเตอริงใช้การปล่อยสารเรืองแสงเพื่อทำความสะอาดพื้นผิวกล่าวคือ ชาร์จก๊าซอาร์กอนเข้าไปในห้อง แรงดันการคายประจุอยู่ที่ประมาณ 1,000V หลังจากเปิดเครื่องจ่ายไฟ การปลดปล่อยแสงจะถูกสร้างขึ้น และพื้นผิวจะถูกทำความสะอาดโดยการระดมยิงด้วยไอออนของอาร์กอน

1.2) ในเครื่องเคลือบสปัตเตอริงที่ผลิตเครื่องประดับระดับไฮเอนด์ในเชิงอุตสาหกรรม ไททาเนียมไอออนที่ปล่อยออกมาจากแหล่งกำเนิดอาร์คขนาดเล็กส่วนใหญ่จะใช้ในการทำความสะอาดเครื่องเคลือบสปัตเตอริงติดตั้งแหล่งกำเนิดอาร์คขนาดเล็ก และกระแสไททาเนียมไอออนในอาร์คพลาสมาที่เกิดจากการปลดปล่อยแหล่งกำเนิดอาร์คขนาดเล็กจะถูกใช้เพื่อทิ้งระเบิดและทำความสะอาดพื้นผิว

2. การเคลือบไททาเนียมไนไตรด์

เมื่อเคลือบฟิล์มบางไทเทเนียมไนไตรด์ วัสดุเป้าหมายสำหรับการสปัตเตอร์คือเป้าหมายไทเทเนียมวัสดุเป้าหมายเชื่อมต่อกับขั้วลบของแหล่งจ่ายไฟสปัตเตอร์ และแรงดันเป้าหมายคือ 400~500V;อาร์กอนฟลักซ์คงที่ และสุญญากาศควบคุมคือ (3~8) x10^-1ป.วัสดุพิมพ์เชื่อมต่อกับขั้วลบของแหล่งจ่ายไฟไบแอสที่มีแรงดันไฟฟ้า 100~200V

หลังจากเปิดแหล่งจ่ายไฟของเป้าหมายไททาเนียมสปัตเตอริงแล้ว การปลดปล่อยแสงจะถูกสร้างขึ้น และไอออนอาร์กอนพลังงานสูงจะโจมตีเป้าหมายสปัตเตอริง ทำให้อะตอมไททาเนียมสปัตเตอริงออกจากเป้าหมาย

ก๊าซไนโตรเจนปฏิกิริยาถูกนำมาใช้ และอะตอมของไททาเนียมและไนโตรเจนจะถูกทำให้แตกตัวเป็นไอออนของไทเทเนียมและไอออนของไนโตรเจนในห้องเคลือบภายใต้แรงดึงดูดของสนามไฟฟ้าอคติเชิงลบที่ใช้กับพื้นผิว ไททาเนียมไอออนและไอออนไนโตรเจนจะเร่งตัวขึ้นสู่พื้นผิวของซับสเตรตเพื่อทำปฏิกิริยาทางเคมีและเกิดการทับถมเพื่อสร้างชั้นฟิล์มไททาเนียมไนไตรด์

3. นำวัสดุพิมพ์ออก

หลังจากถึงความหนาของฟิล์มที่กำหนดไว้แล้ว ให้ปิดแหล่งจ่ายไฟสปัตเตอริง แหล่งจ่ายไฟไบอัสของวัสดุพิมพ์ และแหล่งอากาศหลังจากอุณหภูมิของพื้นผิวต่ำกว่า 120 ℃ ให้เติมอากาศเข้าไปในห้องเคลือบและนำวัสดุพิมพ์ออก

บทความนี้เผยแพร่โดยผู้ผลิตเครื่องเคลือบแมกนีตรอนสปัตเตอร์– กวางตุ้ง เจิ้นหัว