กระบวนการเคลือบแคโทดไอออนแบบกลวงมีดังนี้:
1、ใส่แท่งชินในการยุบตัว
2、การติดชิ้นงาน
3、หลังจากอพยพไปที่ 5×10-3Pa แล้ว ก๊าซอาร์กอนจะถูกนำเข้าไปในห้องเคลือบจากท่อสีเงิน และระดับสุญญากาศอยู่ที่ประมาณ 100Pa
4、เปิดไฟไบอัส
5、หลังจากเปิดไฟอาร์คเพื่อจุดไฟปล่อยแคโทดกลวง การปล่อยเรืองแสงจะถูกสร้างขึ้นในหลอดปุ่ม แรงดันดิสชาร์จคือ 800~1000V กระแสไฟอาร์คที่เพิ่มขึ้นคือ 30~50A เนื่องจากเอฟเฟกต์แคโทดกลวงของการเรืองแสง ปล่อย, ความหนาแน่นกระแสปล่อยเรืองแสงสูง, ความหนาแน่นสูงของไอออนหนูในท่อเงินทิ้งระเบิดผนังของท่อได้เปรียบ, ทำให้ผนังท่ออุ่นขึ้นอย่างรวดเร็วเพื่อปล่อยการไหลของอิเล็กตรอน, โหมดการปล่อยจากการปล่อยเรืองแสงเปลี่ยนเป็น อาร์คดิสชาร์จ, แรงดัน 40~70V, กระแสไฟ 80~300A.อุณหภูมิของหลอดซิลเวอร์สูงถึง 2300K, หลอดไส้, ปล่อยกระแสอาร์คอิเล็กตรอนที่มีความหนาแน่นสูงจากหลอดและยิงไปที่ขั้วบวก
6、การปรับระดับสุญญากาศ ระดับสุญญากาศสำหรับการปลดปล่อยสารเรืองแสงจากปืนแคโทดกลวงคือประมาณ 100 Pa และระดับสุญญากาศของการเคลือบคือ 8×10-1~2Pa ดังนั้น หลังจากการจุดระเบิดของการปล่อยอาร์ค ให้ลดอาร์กอนที่เข้ามา แก๊สให้เร็วที่สุด ปรับระดับสุญญากาศให้อยู่ในช่วงที่เหมาะสำหรับการเคลือบ
7、ชั้นฐานชุบไททาเนียมการไหลของอิเล็กตรอนไปยังแท่งโลหะชินที่ยุบตัวแบบอะโนด, การแปลงพลังงานจลน์เป็นพลังงานความร้อน, การระเหยของโลหะชินด้วยความร้อน, อะตอมของไอจะไปถึงชิ้นงานเพื่อสร้างฟิล์มไททาเนียม
8、การสะสมของ TiN ก๊าซไนโตรเจนจะถูกส่งไปยังห้องเคลือบ ก๊าซไนโตรเจนและอะตอมที่ระเหยจะถูกทำให้แตกตัวเป็นไอออนของไนโตรเจนและไททาเนียม เหนือเบ้าหลอม ความน่าจะเป็นสูงของการชนแบบไม่ยืดหยุ่นของอะตอมไอไทเทเนียมที่มีกระแสหนาแน่นของอิเล็กตรอนพลังงานต่ำ อัตราการแตกตัวของโลหะสูงถึง 20% ~ 40% ไททาเนียมไอออนมีแนวโน้มที่จะทำปฏิกิริยาทางเคมีกับก๊าซไนโตรเจนปฏิกิริยา การทับถมเพื่อให้ได้ชั้นฟิล์มปกคลุมไนไตรด์ ปืนแคโทดกลวงเป็นทั้งแหล่งที่มาของการกลายเป็นไอ，อีกแหล่งหนึ่ง ของไอออไนเซชันในระหว่างการเคลือบควรปรับกระแสของขดลวดแม่เหล็กไฟฟ้ารอบถ้วยใส่ตัวอย่าง โฟกัสลำแสงอิเล็กตรอนไปที่ศูนย์กลางของการยุบตัว ดังนั้นความหนาแน่นพลังงานของการไหลของอิเล็กตรอนจึงเพิ่มขึ้น
9、ปิดเครื่องหลังจากความหนาของฟิล์มถึงความหนาของฟิล์มที่กำหนดไว้แล้ว ให้ปิดแหล่งจ่ายไฟอาร์ค、แหล่งจ่ายไฟไบอัสและอากาศ
เวลาที่โพสต์: Jul-08-2023