กฎการเจริญเติบโตของชั้นฟิล์มเคลือบการระเหยด้วยสุญญากาศ

ระหว่างการเคลือบผิวด้วยการระเหย การเกิดนิวเคลียสและการเจริญเติบโตของชั้นฟิล์มเป็นพื้นฐานของเทคโนโลยีการเคลือบด้วยไอออนต่างๆ

1. นิวเคลียส

Inเทคโนโลยีการเคลือบการระเหยด้วยสุญญากาศ,หลังจากที่อนุภาคของชั้นฟิล์มระเหยจากแหล่งกำเนิดการระเหยในรูปของอะตอมแล้ว อนุภาคของชั้นฟิล์มจะบินตรงไปยังชิ้นงานในสภาวะสุญญากาศสูง และสร้างชั้นฟิล์มโดยการนิวเคลียสและการเจริญเติบโตบนพื้นผิวของชิ้นงานระหว่างการระเหยในสุญญากาศ พลังงานของอะตอมของชั้นฟิล์มที่หลุดออกจากแหล่งกำเนิดการระเหยจะอยู่ที่ประมาณ 0.2eVเมื่อการเกาะตัวกันระหว่างอนุภาคของชั้นฟิล์มมีมากกว่าแรงยึดเหนี่ยวระหว่างอะตอมของชั้นฟิล์มกับชิ้นงาน จะเกิดนิวเคลียสเกาะอะตอมของชั้นฟิล์มเดี่ยวจะอยู่บนพื้นผิวของชิ้นงานเป็นระยะเวลาหนึ่งโดยมีการเคลื่อนที่ผิดปกติ การแพร่กระจาย การโยกย้าย หรือการชนกับอะตอมอื่นเพื่อสร้างกระจุกอะตอม จำนวนของอะตอมในกระจุกอะตอมถึงค่าวิกฤตซึ่งคงที่ เกิดนิวเคลียส เรียกว่า นิวเคลียสที่มีรูปร่างเป็นเนื้อเดียวกัน

เรียบและมีข้อบกพร่องและขั้นตอนต่างๆ มากมาย ซึ่งทำให้เกิดความแตกต่างของแรงดูดซับของชิ้นส่วนต่างๆ ของชิ้นงาน ต่ออะตอมของกัมมันตภาพรังสีพลังงานการดูดซับของพื้นผิวของข้อบกพร่องมีมากกว่าพลังงานของพื้นผิวปกติ ดังนั้นมันจึงกลายเป็นศูนย์กลางที่ใช้งานอยู่ ซึ่งเอื้อต่อนิวเคลียสพิเศษที่เรียกว่านิวเคลียสต่างกันเมื่อแรงยึดเกาะเท่ากับแรงยึดเกาะ หรือแรงยึดเกาะระหว่างอะตอมของเมมเบรนกับชิ้นงานมากกว่าแรงยึดเกาะระหว่างอะตอมของเมมเบรน โครงสร้างแผ่นลาเมลลาร์จะก่อตัวขึ้นในเทคโนโลยีการชุบไอออน แกนกลางของเกาะจะเกิดขึ้นในกรณีส่วนใหญ่

2.การเจริญเติบโต

เมื่อแกนกลางของฟิล์มก่อตัวขึ้น มันจะขยายตัวต่อไปโดยการดักจับอะตอมที่ตกกระทบ เกาะต่างๆ จะเติบโตและรวมกันเป็นซีกโลกที่ใหญ่ขึ้น ค่อยๆ ก่อตัวเป็นชั้นเกาะครึ่งวงกลมที่กระจายไปทั่วพื้นผิวของชิ้นงาน

เมื่อพลังงานปรมาณูของชั้นฟิล์มสูง มันสามารถฟุ้งกระจายบนพื้นผิวได้เพียงพอ และฟิล์มต่อเนื่องที่เรียบสามารถก่อตัวขึ้นได้เมื่อกระจุกอะตอมที่ตามมามีขนาดเล็ก หากการแพร่ของอะตอมบนพื้นผิวอ่อนแอและขนาดของ กระจุกที่ทับถมกันมีขนาดใหญ่ มีอยู่เป็นนิวเคลียสคาบสมุทรขนาดใหญ่ ด้านบนของแกนกลางเกาะมีผลบังแสงที่รุนแรงในส่วนเว้า นั่นคือ "เอฟเฟกต์เงา" การฉายของพื้นผิวเอื้อต่อการจับอะตอมที่สะสมตามมามากกว่า และการเติบโตแบบพิเศษส่งผลให้ระดับความเว้าบนพื้นผิวเพิ่มขึ้นเพื่อสร้างผลึกรูปกรวยหรือแบบเรียงเป็นแนวที่มีขนาดเพียงพอช่องว่างที่ทะลุทะลวงเกิดขึ้นระหว่างผลึกรูปกรวยและค่าความหยาบของพื้นผิวเพิ่มขึ้น เนื้อเยื่อละเอียดสามารถรับได้ที่สุญญากาศสูง เมื่อระดับสุญญากาศลดลง โครงสร้างจุลภาคของเมมเบรนจะหนาขึ้นและหนาขึ้น