เครื่องเคลือบสูญญากาศมีกระบวนการอย่างไร?หลักการทำงานคืออะไร?

เดอะเคลือบสูญญากาศกระบวนการของเครื่องจักรแบ่งออกเป็น: การเคลือบการระเหยด้วยสุญญากาศ การเคลือบสปัตเตอริงแบบสุญญากาศ และการเคลือบไอออนแบบสุญญากาศ

1、การเคลือบการระเหยด้วยสุญญากาศ

ภายใต้สภาวะสุญญากาศ ทำให้วัสดุระเหย เช่น โลหะ โลหะผสม ฯลฯ แล้วฝากไว้บนพื้นผิว วิธีการเคลือบด้วยการระเหยมักจะใช้ความร้อนต้านทาน จากนั้นจึงทำการทิ้งระเบิดลำแสงอิเล็กตรอนของวัสดุเคลือบ ทำให้พวกเขา ระเหยกลายเป็นก๊าซ แล้วสะสมบนพื้นผิวซับสเตรต ในอดีต การสะสมไอระเหยเป็นเทคโนโลยีก่อนหน้าที่ใช้ในวิธี PVD

2、การเคลือบสปัตเตอริง

ก๊าซอยู่ภายใต้การปล่อยสารเรืองแสงภายใต้สภาวะสุญญากาศที่เต็มไปด้วย (Ar) ในขณะนี้ อะตอมของอาร์กอน (Ar) แตกตัวเป็นไอออนของไนโตรเจน (Ar) ไอออนจะถูกเร่งโดยแรงของสนามไฟฟ้า และระดมยิงเป้าหมายแคโทดซึ่ง ทำจากวัสดุเคลือบ เป้าหมายจะถูกสปัตเตอร์ออกและสะสมไว้บนพื้นผิวของสารตั้งต้น ไอออนตกกระทบในการเคลือบสปัตเตอร์ ซึ่งโดยทั่วไปได้จากการปลดปล่อยสารเรืองแสงจะอยู่ในช่วง 10-2pa ถึง 10Pa ดังนั้นอนุภาคที่สปัตเตอร์จะชนกันได้ง่าย ด้วยโมเลกุลของก๊าซในห้องสุญญากาศเมื่อบินเข้าหาพื้นผิว ทำให้ทิศทางการเคลื่อนที่สุ่มและฟิล์มที่เคลือบจะสม่ำเสมอได้ง่าย

3、เคลือบไอออน

ภายใต้สภาวะสุญญากาศ ภายใต้สภาวะสุญญากาศ ใช้เทคนิคการแตกตัวเป็นไอออนในพลาสมาเพื่อทำให้อะตอมของวัสดุเคลือบแตกตัวเป็นไอออนบางส่วน ในขณะเดียวกันก็สร้างอะตอมที่เป็นกลางพลังงานสูงจำนวนมาก ซึ่งมีความเอนเอียงในทางลบต่อสารตั้งต้น ด้วยวิธีนี้ ไอออน จะถูกสะสมบนพื้นผิวภายใต้อคติเชิงลบลึกเพื่อสร้างฟิล์มบาง ๆ