อุปกรณ์ทำความสะอาดพลาสมาสุญญากาศใช้โครงสร้างแบบบูรณาการ พร้อมกับระบบทำความสะอาดไอออน RF การควบคุมอัตโนมัติเต็มรูปแบบ การใช้งานและการบำรุงรักษาที่สะดวก
เครื่องกำเนิดความถี่สูง RF สามารถสร้างพลาสมาความหนาแน่นสูง เปิดใช้งาน กัดและเถ้าพื้นผิวชิ้นงาน กำจัดฝุ่นและไขมันบนพื้นผิวผลิตภัณฑ์ได้อย่างมีประสิทธิภาพ คลายความเค้นที่พื้นผิว และรับการแก้ไขต่างๆ บนพื้นผิวชิ้นงาน
ใช้ได้กับยาง แก้ว เซรามิก โลหะ และผลิตภัณฑ์อื่นๆ และใช้กับไมโครอิเล็กทรอนิกส์ LCD LED LCM แผงวงจร PCB บรรจุภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์ อุปกรณ์ทางการแพทย์ การทดลองด้านวิทยาศาสตร์เพื่อชีวิต และสาขาอื่นๆ