GX600

Enjam dik gapynyň gurluşyny we toparlaýyn ýerleşişini kabul edýär.Metallar we dürli organiki materiallar üçin bugarmak çeşmeleri bilen enjamlaşdyrylyp bilner we dürli spesifikasiýa kremniy wafli bugaryp biler.Takyk deňleşdiriş ulgamy bilen enjamlaşdyrylan örtük durnukly we örtük gowy gaýtalanýar.
GX600 örtük enjamlary, substratda organiki ýagtylyk çykaryjy materiallary ýa-da metal materiallary takyk, deň we gözegçilikde bugaryp biler.Simpleönekeý filmiň emele gelmeginiň, ýokary arassalygynyň we ýokary ykjamlygynyň artykmaçlyklary bar.Doly awtomatiki film galyňlygy real wagt gözegçilik ulgamy, prosesiň gaýtalanmagyny we durnuklylygyny üpjün edip biler.Operatoryň başarnyklaryna baglylygy azaltmak üçin öz-özüni eretmek funksiýasy bilen enjamlaşdyrylandyr.
Enjamlar Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti we beýleki metal materiallara ulanylyp bilner we esasan ýarymgeçirijide ulanylýan metal film, dielektrik gatlak filmi, IMD filmi we ş.m. bilen örtülip bilner. kuwwat enjamlary, ýarymgeçiriji yzky gaplaýyş substrat örtük we ş.m.