CVD örtük enjamlarynyň aýratynlyklary

CVD örtük tehnologiýasy aşakdaky aýratynlyklara eýedir:

1. CVD enjamlarynyň işleýşi birneme ýönekeý we çeýe bolup, bir ýa-da birleşdirilen filmleri we dürli ölçegdäki garyndy filmleri taýýarlap biler;

2. CVD örtüginiň köp sanly amaly bar we dürli metal ýa-da metal film örtükleri taýýarlamak üçin ulanylyp bilner;

3. Bir minutda birnäçe mikrondan ýüzlerçe mikrona çenli çökdürme derejesi sebäpli ýokary önümçilik netijeliligi;

4. PVD usuly bilen deňeşdirilende, CVD has gowy difraksiýa öndürijiligine eýedir we çukurlar, örtülen deşikler we hatda kör deşik gurluşlary ýaly çylşyrymly şekiller bilen örtülen substratlar üçin örän amatlydyr.Örtük gowy ykjamlyk bilen filme örtülip bilner.Filmiň emele geliş döwründe ýokary temperatura we filmiň substrat interfeýsine berk ýapyşmagy sebäpli film gatlagy gaty berkdir

5. Radiasiýa sebäpli ýetirilen zyýan birneme pes we MOS integral zynjyr amallary bilen birleşdirilip bilner.

—— Bu makala Guangdong Zhenhua, avakuum örtük maşyn öndürijisi