Giňeldilen ýalpyldawuk akym ion örtük tehnologiýasynyň umumy aýratynlyklary

1. Iş bölegi ikitaraplaýyn

Ionizasiýa tizligini ýokarlandyrmak üçin enjamyň goşulmagy sebäpli, akymyň dykyzlygy ýokarlanýar we ikitaraplaýyn naprýa .eniýe 0,5 ~ 1kV çenli azalýar.

Energyokary energiýa ionlarynyň aşa köp bombalanmagy we iş böleginiň zeper ýetmegi netijesinde dörän arkaýynlyk azalýar.

2. Plazmanyň dykyzlygynyň ýokarlanmagy

Çaknyşyk ionlaşmagyny öňe sürmek üçin dürli çäreler goşuldy we metal ionlaşma derejesi 3% -den 15% -e çenli ýokarlandy.Eňek ionlarynyň we ýokary energiýaly bitarap atomlaryň, azot ionlarynyň, ýokary energiýa işjeň atomlaryň we örtük kamerasyndaky işjeň toparlaryň dykyzlygy ýokarlanýar, bu birleşmeleriň emele gelmegine täsir edýär.Aboveokardaky dürli güýçlendirilen ýalpyldawuk akym ion örtük tehnologiýalary, has ýokary plazma dykyzlyklarynda reaksiýa goýulmagy bilen TN gaty film gatlaklaryny almagy başardy, ýöne ýalpyldawuk akym görnüşine degişlidigi sebäpli, akymyň häzirki dykyzlygy ýeterlik derejede ýokary däl (henizem mA / cm2 derejesi) ), we plazmanyň umumy dykyzlygy ýeterlik derejede ýokary däl we reaksiýa çökdürme goşma örtük prosesi kyn.

3. Nokadyň bugarmak çeşmesiniň örtük aralygy az

Dürli güýçlendirilen ion örtük tehnologiýalary, elektron şöhleleriniň bugarmak çeşmelerini, we gantu nokat bugarmak çeşmesi hökmünde ulanylýar, reaksiýa çökdürilmegi üçin gantu belli bir aralyk bilen çäklenýär, şonuň üçin öndürijilik pes, proses kyn we senagatlaşmak kyn.

4. Elektron ýaragyň ýokary basyşly işleýşi

Elektron ýaragyň naprýa .eniýesi 6 ~ 30kV, iş bölekleriniň naprýa .eniýesi bolsa ýokary woltly işe degişli we belli bir howpsuzlyk howpy bolan 0,5 ~ 3kV.

—— Bu makala Guangdong Zhenhua Technology, aoptiki örtük maşynlaryny öndüriji.