Plazma göni polimerizasiýa prosesi

Plazma göni polimerizasiýa prosesi

Plazma polimerizasiýa prosesi içerki elektrod polimerizasiýa enjamlary we daşarky elektrod polimerizasiýa enjamlary üçin birneme ýönekeý, ýöne plazma polimerizasiýasynda parametrleri saýlamak has möhümdir, sebäbi plazma polimerizasiýasy wagtynda polimer filmleriniň gurluşyna we işleýşine parametrler has uly täsir edýär.

Göni plazma polimerizasiýasy üçin iş ädimleri aşakdakylar:

(1) Wakuum

Wakuum şertlerinde polimerizasiýanyň fon wakuumy 1,3 × 10-1Pa çenli sorulmalydyr.Kislorodyň ýa-da azotyň düzümine gözegçilik etmek üçin aýratyn talaplary talap edýän polimerizasiýa reaksiýalary üçin fon wakuum zerurlygy hasam ýokarydyr.

(2) Daşaýjy gazyň we monomeriň reaksiýa monomerini ýa-da garyşyk gazyny güýçlendiriň

Wakuum derejesi 13-130Pa.Işi talap edýän plazma polimerizasiýasy üçin, akymy dolandyrmagyň tertibi we akym tizligi, adatça 10.100mL / min saýlanar.Plazmada monomer molekulalary ionlaşdyrylýar we energiýa bölejikleriniň bombalanmagy bilen bölünýär, netijede ionlar we işjeň genler ýaly işjeň bölejikler bolýar.Plazma bilen işjeňleşdirilen işjeň bölejikler, gaz fazasynyň we gaty fazanyň interfeýsinde plazma polimerizasiýasyny başdan geçirip biler.Monomer, Plazma polimerizasiýasynyň deslapky çeşmesidir we giriş reaksiýa gazy we monomer belli bir arassalyga eýe bolmalydyr.

(3) tolgundyryjy elektrik üpjünçiligini saýlamak

Polimerizasiýa üçin plazma gurşawyny üpjün etmek üçin plazma DC, ýokary ýygylykly, RF ýa-da mikrotolkunly güýç çeşmeleri arkaly döredilip bilner.Elektrik üpjünçiliginiň saýlanylyşy polimeriň gurluşyna we işleýşine bildirilýän talaplara esaslanýar.

(4) Açyş tertibini saýlamak

Polimer talaplary üçin plazma polimerizasiýasy iki akym re modeimini saýlap biler: üznüksiz akym ýa-da impuls akymy.

(5) Zyňyş parametrlerini saýlamak

Plazma polimerizasiýasy geçirilende, plazma parametrlerinden, polimer häsiýetlerinden we gurluş talaplaryndan akym parametrlerini göz öňünde tutmaly.Polimerizasiýa döwründe ulanylýan güýjüň ululygy wakuum kamerasynyň göwrümi, elektrodyň ululygy, monomer akymynyň tizligi we gurluşy, polimerizasiýa tizligi, polimer gurluşy we öndürijiligi bilen kesgitlenýär.Mysal üçin, reaksiýa kamerasynyň göwrümi 1L bolsa we RF Plazma polimerizasiýasy kabul edilse, çykaryş güýji 10 ~ 30W aralygynda bolar.Şeýle şertlerde döredilen plazma, iş böleginiň üstünde inçe film emele getirip biler.Plazma polimerizasiýa filminiň ösüş depgini elektrik üpjünçiligi, monomer görnüşi we akym tizligi we proses şertleri bilen üýtgeýär.Umuman, ösüş depgini 100nm / min ~ 1um / min.

(6) Plazma polimerizasiýasynda parametr ölçegi

Plazma polimerizasiýasynda ölçelmeli plazma parametrleri we proses parametrleri aşakdakylary öz içine alýar: çykaryş naprýa .eniýesi, akym tok, akym ýygylygy, Elektronyň temperaturasy, dykyzlygy, reaksiýa toparynyň görnüşi we konsentrasiýasy we ş.m.

—— Bu makala Guangdong Zhenhua Technology, aoptiki örtük maşynlaryny öndüriji.