Tüýdük örtük maşynynyň akymy

1. Bombardment arassalaýjy substrat

1.1) Tüýdük örtük maşyny substraty arassalamak üçin ýalpyldawuk akym ulanýar..Agny, argon gazyny kamera zarýad beriň, çykaryş naprýa 1000eniýesi 1000V töweregi, Elektrik üpjünçiligini açanyňyzdan soň ýalpyldawuk akym emele gelýär we substrat argon ion bombalanmagy bilen arassalanýar.

1.2) Senagat taýdan ýokary derejeli nagyşlary öndürýän örtükli örtük maşynlarynda, arassalamak üçin ownuk ýaý çeşmelerinden çykýan titanium ionlary ulanylýar.Tüýdük örtük enjamy kiçijik ýaý çeşmesi bilen enjamlaşdyrylandyr we kiçi ýaý çeşmesiniň çykmagy netijesinde dörän ýaý plazmasyndaky titanium ion akymy substraty bombalamak we arassalamak üçin ulanylýar.

2. Titan nitrid örtügi

Titan nitrid inçe filmleri goýlanda, tüýkürmek üçin niýetlenen material titanyň nyşanydyr.Maksatly material tüýdük elektrik üpjünçiliginiň otrisatel elektrodyna birikdirilýär we maksat naprýa 400eniýesi 400 ~ 500V;Argon akymy kesgitlenýär we dolandyryş vakuumy (3 ~ 8) x10^-1PASubstrat 100 ~ 200V naprýa .eniýe bilen ikitaraplaýyn elektrik üpjünçiliginiň otrisatel elektrodyna birikdirildi.

Tüýdük titanium nyşanynyň elektrik üpjünçiligini açanyňyzdan soň, ýalpyldawuk akym emele gelýär we ýokary energiýaly argon ionlary tüpeň nyşanyny nyşana alýar, titandan atomlary nyşana atýar.

Reaksiýa gaz azoty girizilýär we titanium atomlary we azot örtük kamerasynda titan ionlaryna we azot ionlaryna ionlaşdyrylýar.Substrata ulanylýan negatiw ikitaraplaýyn elektrik meýdanynyň çekilmegi bilen, titanium ionlary we azot ionlary himiki reaksiýa we titanium nitrid film gatlagyny emele getirmek üçin substratyň ýüzüne çaltlaşýarlar.

3. Substraty çykaryň

Öňünden kesgitlenen film galyňlygyna ýeteniňizden soň, tüýdük elektrik üpjünçiligini, substrat ikitaraplaýyn elektrik üpjünçiligini we howa çeşmesini öçüriň.Substratyň temperaturasy 120 than-dan pes bolansoň, örtük kamerasyny howa bilen dolduryň we substraty çykaryň.

Bu makala çap edildimagnitron tüýdük örtük maşyn öndürijisi- Guangdong Zhenhua.