Boş katod ion örtüginiň prosesi aşakdaky ýaly:
1 Chin Çin çeňňeklerini ýykyň.
2 work Iş bölegini gurnamak.
3 5 5 × 10-3Pa ewakuasiýa edilenden soň, kümüş turbadan örtük kamerasyna argon gazy girizilýär we wakuum derejesi 100Pa töweregi.
4 bias Tarap güýjüni açyň.
5 hol Boş katod akymyny ýakmak üçin ark güýjüni açanyňyzdan soň. Owalpyldawuk akym düwme turbasynda emele gelýär, Akymyň naprýa 800eniýesi 800 ~ 1000V, ýaýyň ýokarlandyryjy tok 30 ~ 50A. owalpyldawuk katod täsirine bagly. akym, ýokary ýalpyldawuk akymyň häzirki dykyzlygy, Kümüş turbadaky syçanyň ionlarynyň ýokary dykyzlygy wantage turbasynyň diwaryny bombalaýar, Turbanyň diwaryny elektron akymynyň çalt gyzmagyna öwüriň, ýalpyldawuk akymdan çykaryş tertibi birden üýtgeýär ýaýyň akymy, naprýa 40eniýe 40 ~ 70V, tok 80 ~ 300A.Silwer turbanyň temperaturasy 2300K-den ýokary, akkor, turbadan ýaý elektronlarynyň ýokary dykyzlygy akymyny çykarýar we anoda atylýar.
6 v Wakuum derejesini sazlamak. Çukur katod ýaragyndan ýalpyldawuk akmak üçin wakuum derejesi takmynan 100 Pa, örtügiň wakuum derejesi bolsa 8 × 10-1 ~ 2Pa. Şonuň üçin, ýaýyň çykarylmagyndan soň, gelýän argony azaldyň. gaz mümkin boldugyça gysga wagtda wakuum derejesini örtmek üçin laýyk diapazona sazlaň.
7 、 Titan örtülen esasy gatlak. Elektron anodiki çöken Çin metal ingotyna akýar, kinetiki energiýany ýylylyk energiýasyna öwürmek, Çin metalyny ýylatmak arkaly bugarmak, Bug atomlary titanium filmini emele getirmek üçin iş ýerine ýetýär.
8 T TiN. Azot gazy örtük kamerasyna berilýär, azot gazy we bugarýan atomlar azot we titanium ionlaryna ionlaşdyrylýar. Titan bug atomlarynyň pes energiýaly elektronlaryň dykyz akymlary bilen inelastik çaknyşmagynyň iň ýokary ähtimallygy, Metalyň bölüniş derejesi 20% ~ 40% -e çenli ýokarydyr. Titan ionlary reaksiýa gaz azoty, nitrid manty film gatlagyny almak üçin çöketlik bilen himiki täsir edip biler. Çukur katod ýaragy hem buglaşma çeşmesi ， Başga bir çeşme ionlaşdyrma. Örtük örtügi, Çeňňegiň töweregindäki elektromagnit rulonyň toky hem sazlanmalydyr, elektron şöhlesini çökmegiň merkezine gönükdiriň, Şeýlelik bilen, elektron akymynyň güýç dykyzlygy ýokarlanýar.
9 、 Öçürmek. Filmiň galyňlygy öňünden kesgitlenen filmiň galyňlygyna ýetenden soň, ýaýyň elektrik üpjünçiligini öçüriň as Iki taraplaýyn elektrik üpjünçiligi we howa üpjünçiligi.
Iş wagty: Iýul-08-2023