1, Maksadyň üstünde metal birleşmeleriniň emele gelmegi
Reaktiw tüýkürmek prosesi bilen demir maksatly ýerden birleşme emele getirýän birleşme nirede emele gelýär?Reaktiw gaz bölejikleri bilen maksatly ýerüsti atomlaryň arasyndaky himiki reaksiýa, adatça ekzotermiki birleşýän atomlary öndürýändigi sebäpli, reaksiýanyň ýylylygynyň bir usuly bolmaly, ýogsam himiki reaksiýa dowam edip bilmez.Wakuum şertlerinde gazlaryň arasynda ýylylyk geçirmek mümkin däl, şonuň üçin himiki reaksiýa gaty ýerde bolmaly.Reaksiýanyň dökülmegi maksatly ýüzlerde, substrat ýüzlerde we beýleki gurluş ýüzlerinde birleşmeler döredýär.Substratyň üstünde birleşmeler döretmek maksatdyr, beýleki gurluş ýüzlerinde birleşmeler döretmek serişdäni ýitirmekdir we maksat ýüzünde birleşmeler öndürmek birleşýän atomlaryň çeşmesi hökmünde başlaýar we has köp birleşýän atomlary yzygiderli üpjün etmek üçin päsgelçilik bolýar.
2, Maksatly zäherlenmäniň täsir faktorlary
Maksatly zäherlenmä täsir edýän esasy faktor, reaksiýa gazynyň we tüýkürýän gazyň gatnaşygy, aşa köp reaksiýa gazy maksatly zäherlenmä sebäp bolar.Reaktiw tüýkürmek prosesi maksatly ýer ýüzünde dökülýär, kanalyň meýdany reaksiýa birleşmesi bilen örtülen ýaly ýa-da reaksiýa birleşmesi aýrylyp, metal ýüzüne gaýtadan açylýar.Goşma emele geliş tizligi goşma bölüniş tizliginden uly bolsa, goşma gurşaw meýdany ýokarlanýar.Belli bir güýçde, birleşme emele gelmegine gatnaşýan reaksiýa gazynyň mukdary köpelýär we birleşme öndüriliş tizligi ýokarlanýar.Reaksiýa gazynyň mukdary aşa köpelse, birleşmäniň örtügi köpelýär.Eger reaksiýa gaz akymynyň tizligini wagtynda düzedip bolmaýan bolsa, birleşýän ýeriň köpeliş tizligi basylmaýar we tüýkürme kanaly birleşme bilen örtüler, haçan-da tüýdük nyşany birleşme bilen doly örtülende, maksat doly zäherlenendir.
3, Nyşana zäherlenme hadysasy
.Katodyň nyşana gönüden-göni girmäň, ýöne katodyň dökülmegi dowam edip bilmez ýaly, ýaýyň akymyna sowuk meýdan öndürmek aňsat bolan nyşanyň üstünde jemläň.
.
4, Maksatly zäherlenmäniň fiziki düşündirişi
(1) Umuman aýdanyňda, metal birleşmeleriniň ikinji derejeli elektron çykaryş koeffisiýenti metallardan has ýokary.Maksatly zäherlenenden soň, nyşanyň üstü ähli metal birleşmelerdir we ionlar bilen bombalanandan soň, goýberilen ikinji elektronlaryň sany köpelýär, bu giňişligiň geçirijiligini ýokarlandyrýar we plazma impedansyny peseldýär, pes naprýa .eniýe getirýär.Bu tüýdük derejesini peseldýär.Adatça magnitronyň tüýdüginiň naprýa .eniýesi 400V-600V aralygyndadyr we nyşana zäherlenme ýüze çykanda, tüýdük naprýa .eniýesi ep-esli azalýar.
.
.
5, Maksatly zäherlenmek üçin çözgütler
(1) Orta ýygylykly elektrik üpjünçiligini ýa-da radio ýygylykly elektrik üpjünçiligini kabul ediň.
(2) Reaksiýa gaz akymynyň ýapyk görnüşli gözegçiligini kabul ediň.
(3) Ekiz nyşanlary kabul ediň
) nyrh gaty peselýär.
IsBu makala wakuum örtük enjamlaryny öndüriji Guangdong Zhenhua Technology tarapyndan neşir edildi.
Iş wagty: Noýabr-07-2022