Thevakuum örtükmaşyn prosesi aşakdakylara bölünýär: wakuum bugarmak örtügi, wakuum tüýdük örtügi we wakuum ion örtügi.
1 uc Wakuum bugarmak örtügi
Wakuum şertinde materialy bugarmaly metal, metal, metal garyndysy we ş.m. soňra substratyň üstünde goýuň, bugarmak örtügi usuly köplenç garşylyk gyzdyryşyny ulanýar, soňra örtük materialynyň elektron şöhlesini bombalaýar. gaz fazasyna bugardylar, soňra substratyň üstünde goýuň, taryhy taýdan vakuum buglarynyň çökmegi PVD usulynda ulanylan has irki tehnologiýa.
2 、 Tüýdük örtük
Gaz (Ar) doldurylan vakuum şertlerinde ýalpyldawuk akymlara sezewar bolýar Şu pursatda argon (Ar) atom ionyny azot ionlaryna (Ar) öwürýär, ionlar elektrik meýdanynyň güýji bilen tizlenýär we katod nyşanyny bombalaýar. örtük materialyndan ýasalýar, nyşana döküler we substratyň üstünde goýlar, köplenç ýalpyldawuk akym bilen alnan tüýdük örtükdäki hadysalar ionlary 10-2pa-dan 10Pa aralygynda bolýar ， Şonuň üçin dökülen bölejikleri çakmak aňsat. substrata tarap uçanda wakuum kamerasyndaky gaz molekulalary bilen hereket ugruny tötänleýin we goýlan filmiň birmeňzeş bolmagyny aňsatlaşdyrýar.
3 on Ion örtük
Wakuum şertlerinde, wakuum şertinde örtük materialy atomlaryny ionlara bölekleýin ionlaşdyrmak üçin belli bir plazma ionizasiýa usuly ulanyldy. Şol bir wagtyň özünde köp energiýa bitarap atomlar öndürilýär subst substrata negatiw garaýarlar. Şeýlelik bilen, ionlar inçe film döretmek üçin çuňňur negatiw tarapdan substratyň üstünde goýulýar.
Iş wagty: Mart-23-2023