Enjamlaryň bu tapgyry, örtük materiallaryny nanometr ölçegli bölejiklere öwürmek üçin magnitron nyşanlaryny ulanýar, inçe filmleri emele getirmek üçin substratlaryň üstünde goýulýar.Aýlanan film wakuum kamerasynda ýerleşdirildi.Elektrik bilen hereket edýän aýlaw gurluşy arkaly bir ujy filmi alýar, beýlekisi filmi goýýar.Maksat meýdanyndan geçmegini dowam etdirýär we dykyz film döretmek üçin maksat bölejiklerini alýar.
Aýratynlyk:
1. Pes temperatura filminiň emele gelmegi.Temperatura filme az täsir edýär we deformasiýa döretmez.PET, PI we beýleki esasy material rulon filmleri üçin amatly.
2. Filmiň galyňlygy dizaýn edilip bilner.Inçe ýa-da galyň örtükler prosesi sazlamak arkaly dizaýn edilip we goýulyp bilner.
3. Birnäçe maksatly ýerleşiş dizaýny, çeýe proses.Machineönekeý metal nyşana ýa-da birleşme we oksid nyşany hökmünde ulanyp boljak sekiz nyşan bilen enjamlaşdyrylyp bilner.Singleeke gurluşly bir gatly filmleri ýa-da birleşdirilen gurluşly köp gatlakly filmleri taýýarlamak üçin ulanylyp bilner.Bu proses örän çeýe.
Enjamlar elektromagnit gorag filmi, çeýe zynjyr tagtasy örtügi, dürli dielektrik filmler, köp gatlakly AR antirefleksiýa filmi, HR ýokary antirefleksiýa filmi, reňkli film we ş.m. taýýarlap biler. bir gezeklik film goýulmagy bilen tamamlanyp bilner.
Enjamlar Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl we ş.m. ýaly ýönekeý metal nyşanlary ýa-da SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO we ş.m.
Enjamlaryň göwrümi kiçi, gurluş dizaýnynda ykjam, pol meýdanynda kiçi, energiýa sarp edilişi az we sazlamakda çeýe.Amal gözlegleri we ösüşi ýa-da kiçi köpçülikleýin önümçilik üçin örän amatly.