No1 powerokary kuwwatly impulsly magnitron tüýdüginiň ýörelgesi
Powerokary kuwwatly impulsly magnitron tüýdük usuly ýokary metal bölüniş tizligini (> 50%) gazanmak üçin ýokary impuls güýjüni (adaty magnetron tüýdüginden 2-3 ululyk ululygy) we pes impulsly aýlaw (0,5% -10%) ulanýar. 1-nji suratda görkezilişi ýaly magnitronyň tüýkürme aýratynlyklaryndan alnan, iň ýokary maksatly tok dykyzlygy I, I = kUn (n katod gurluşy, magnit meýdany bilen hemişelik baglanyşykly ekspensial n güýji bilen proporsionaldyr) we material).Pes güýç dykyzlyklarynda (pes woltly) n bahasy adatça 5-15 aralygynda bolýar;zarýad naprýa .eniýesiniň ýokarlanmagy bilen häzirki dykyzlyk we güýç dykyzlygy çalt ýokarlanýar we ýokary naprýa ateniýede magnit meýdanynyň ýitmegi sebäpli n bahasy 1 bolýar.Pes kuwwatly dykyzlyklarda, gazyň çykarylyşy adaty impulsly akym re inimindäki gaz ionlary bilen kesgitlenýär;ýokary güýç dykyzlygynda, plazmadaky metal ionlarynyň paýy ýokarlanýar we käbir materiallar öz-özünden dökülýär, ýagny plazma tüýdükli bitarap bölejikleriň we ikinji derejeli metal ionlarynyň we inert gaz atomlarynyň ionlaşmagy bilen saklanýar. Ar ýaly diňe plazmany ýakmak üçin ulanylýar, şondan soň dökülen metal bölejikleri nyşanyň golaýynda ionlaşdyrylýar we ýokary tok akymyny saklamak üçin magnit we elektrik meýdanlarynyň täsiri astynda dörän nyşany bombalamak üçin tizlenýär we plazma ýokarydyr ionlaşdyrylan metal bölejikleri.Ingyladyş täsiriniň nyşana dökülmegi sebäpli, senagat önümlerinde nyşanyň durnukly işlemegini üpjün etmek üçin, nyşana gönüden-göni ulanylýan güýç dykyzlygy gaty uly bolup bilmez, umuman suw sowadyşy we maksatly ýylylyk geçirijiligi. aşakda 25 W / cm2 ýagdaýynda bolmaly, gytaklaýyn suw sowadylmagy, maksatly ýylylyk geçirijiligi pes, ýylylyk stresiniň ýa-da maksatly material sebäpli böleklere bölünen maksatly material pes üýtgäp durýan garyndy komponentlerini öz içine alýar we güýç dykyzlygynyň beýleki ýagdaýlary bolup biler 2 ~ 15 W / cm2 aşakda, ýokary güýç dykyzlygynyň talaplaryndan has pes.Maksatly gyzmak meselesi gaty dar ýokary güýçli impulslary ulanyp çözülip bilner.Anders ýokary kuwwatly impulsly magnitronyň tüýkürilmegini, iň ýokary güýç dykyzlygynyň ortaça güýç dykyzlygyndan 2-den 3-e çenli ululykda, maksatly ion tüýkürmesi tüýkürmek prosesinde agdyklyk edýär we maksatly atyş atomlary ýokary bölünýär. .
No2 powerokary kuwwatly impulsly magnitron tüýdük örtüginiň häsiýetnamasy
Powerokary kuwwatly impulsly magnetron tüýdügi ýokary bölünme tizligi we ýokary ion energiýasy bilen plazma öndürip biler we zarýadly ionlary çaltlaşdyrmak üçin ikitaraplaýyn basyşy ulanyp biler we örtügi çöketmek adaty IPVD tehnologiýasy bolan ýokary energiýa bölejikleri tarapyndan bombalanýar.Ion energiýasy we paýlanyşy örtügiň hiline we öndürijiligine gaty möhüm täsir edýär.
Meşhur Thorton gurluş sebiti modeline esaslanan IPVD hakda Anders, plazma çökdürilmegini we ion etini öz içine alýan gurluş sebiti modelini teklip etdi, örtük gurluşy bilen Torton gurluş sebiti modelindäki temperatura we howa basyşynyň arasyndaky örtügi gurluşyň arasyndaky baglanyşyga çenli giňeltdi, 2-nji suratda görkezilişi ýaly temperatura we ion energiýasyDepolýasiýa temperaturasynyň ýokarlanmagy bilen 1-nji sebitden (ýumşak gözenekli süýümli kristallar) T (dykyz süýümli kristallar), 2-nji sebit (sütün kristallary) we 3-nji sebit (gaýtadan gurmak sebiti);çöketlik ion energiýasynyň ýokarlanmagy bilen 1-nji sebitden T sebite, 2-nji sebite we 3-nji sebite geçiş temperaturasy peselýär.Highokary dykyzlykly süýüm kristallary we sütün kristallary pes temperaturada taýýarlanyp bilner.Goýlan ionlaryň energiýasy 1-10 eV tertipde ýokarlananda, goýlan örtükleriň üstündäki ionlaryň bombalanmagy we dökülmegi güýçlenýär we örtükleriň galyňlygy ýokarlanýar.
.33 Güýçli örtükli magnitron tüýdük tehnologiýasy bilen gaty örtük gatlagyny taýýarlamak
Powerokary kuwwatly impulsly magnitron tüýdük tehnologiýasy bilen taýýarlanan örtük has dykyz, has gowy mehaniki aýratynlyklary we ýokary temperatura durnuklylygy bilen.3-nji suratda görkezilişi ýaly, adaty magnitron tüýdükli TiAlN örtügi, 30 GPa gatylygy we 460 GPa Youngaşyň moduly;HIPIMS-TiAlN örtügi 34 GPa gatylygy, Youngaşyň moduly 377 GPa;gatylygy bilen Youngaşyň modulynyň arasyndaky gatnaşygy, örtügiň berkliginiň ölçegidir.Has ýokary gatylyk we kiçi Youngaşyň moduly has berkligi aňladýar.HIPIMS-TiAlN örtügi has ýokary temperatura durnuklylygyna eýe bolup, adaty TiAlN örtüginde AlN altyburç fazasy 4 sagatda 1000 ° C-den ýokary temperaturany bejermekden soň çökýär.Örtügiň gatylygy ýokary temperaturada peselýär, HIPIMS-TiAlN örtügi şol bir temperaturada we wagtda ýylylyk bejergisinden soň üýtgemez.HIPIMS-TiAlN örtügi, adaty örtükden has ýokary temperatura okislenmesiniň has ýokary başlangyç temperaturasyna eýe.Şonuň üçin HIPIMS-TiAlN örtügi, PVD prosesi tarapyndan taýýarlanan beýleki örtülen gurallara garanyňda ýokary tizlikli kesiş gurallarynda has gowy öndürijiligi görkezýär.
Iş wagty: Noýabr-08-2022