HFCVD0606

Ang vacuum coating chamber ng chemical vapor deposition equipment ay gumagamit ng independiyenteng double-layer na water-cooling na istraktura, na mahusay at pare-pareho sa paglamig, at may ligtas at matatag na istraktura.Ang kagamitan ay idinisenyo na may mga dobleng pinto, maraming mga bintana ng pagmamasid at maraming mga interface ng pagpapalawak, na maginhawa para sa panlabas na koneksyon ng mga auxiliary peripheral tulad ng pagsukat ng temperatura ng infrared, pagsusuri ng parang multo, pagsubaybay sa video at thermocouple.Ang advanced na konsepto ng disenyo ay ginagawang madali at simple ang pang-araw-araw na pag-overhaul at pagpapanatili, pagbabago ng configuration at pag-upgrade ng kagamitan, at epektibong binabawasan ang mga gastos sa paggamit at pag-upgrade.

Mga tampok ng kagamitan:

1. Pangunahing kasama sa mga bahagi ng inflation ng kagamitan ang mass flow meter, solenoid valve at gas mixing tank, na tinitiyak ang tumpak na kontrol sa proseso ng daloy ng gas, pare-parehong paghahalo at ligtas na paghihiwalay ng iba't ibang mga gas, at maaaring pumili ng mga bahagi ng sistema ng gas para sa paggamit ng likidong pinagmumulan ng gas, pinapadali ang personalized na pagpili ng malawak na hanay ng mga likidong pinagmumulan ng carbon, at ang ligtas na paggamit ng mga synthetic na conductive na brilyante at electrode na pinagmumulan ng likidong boron.
2. Ang air extraction assembly ay nilagyan ng isang tahimik at mahusay na rotary vane vacuum pump at isang turbo molecular pump system na maaaring mabilis na matugunan ang mataas na vacuum background na kapaligiran.Ang composite vacuum gauge na may resistance gauge at ionization gauge ay ginagamit para sa pagsukat ng vacuum, pati na rin ang capacitive film gauge system na maaaring masukat ang presyon ng iba't ibang proseso ng gas sa isang malawak na hanay.Ang deposition pressure ay ganap na awtomatikong kinokontrol ng high-precision proportional control valve.
3. Ang bahagi ng paglamig ng tubig ay nilagyan ng multi-channel na presyon ng tubig, daloy, pagsukat ng temperatura at awtomatikong pagsubaybay ng software.Ang iba't ibang mga bahagi ng paglamig ay independiyente sa bawat isa, na maginhawa para sa mabilis na pag-diagnose ng fault.Ang lahat ng mga sangay ay may mga independiyenteng switch ng balbula, na ligtas at mahusay.
4. Ang mga bahagi ng electrical control ay gumagamit ng malaking laki ng interface ng man-machine LCD screen at nakikipagtulungan sa PLC na ganap na awtomatikong kontrol upang mapadali ang pag-edit at pag-import ng formula ng proseso.Ang graphical na curve ay biswal na nagpapakita ng mga pagbabago at mga halaga ng iba't ibang mga parameter, at ang mga kagamitan at mga parameter ng proseso ay awtomatikong naitala at na-archive upang mapadali ang pagsubaybay sa problema at pagsusuri ng istatistika ng data.
5. Ang workpiece rack ay nilagyan ng servo motor upang kontrolin ang pag-angat at pagbaba ng substrate table.Maaaring mapili ang grapayt o pulang tansong substrate table.Ang temperatura ay sinusukat ng isang thermocouple.
6. Ang mga bahagi ng rack ay maaaring idisenyo bilang isang buo o hiwalay ayon sa mga kinakailangan ng customer upang matugunan ang mga espesyal na pangangailangan sa paghawak ng mga customer.
7. Ang mga bahagi ng sealing plate ay maganda at eleganteng.Ang mga sealing plate sa iba't ibang functional module na mga lugar ng kagamitan ay maaaring mabilis na i-disassemble o buksan at isara nang nakapag-iisa, na napaka-maginhawang gamitin.

Ang mainit na filament CVD equipment ay angkop para sa pagdeposito ng mga materyales sa brilyante, kabilang ang manipis na film coating, self-supporting thick film, microcrystalline at nanocrystalline diamond, conductive diamond, atbp. Pangunahing ginagamit ito para sa wear-resistant protective coating ng cemented carbide cutting tools, semiconductor materials gaya ng silicon at silicon carbide, heat dissipation coating ng mga device, boron doped conductive diamond electrode, ozone disinfection ng electrolytic water o sewage treatment.