1) Ang mga cylindrical na target ay may Mas mataas na rate ng paggamit kaysa sa mga planar na target.Sa proseso ng patong, ito man ay isang rotary magnetic type o isang rotary tube type cylindrical sputtering target, lahat ng bahagi ng ibabaw ng target tube ay patuloy na dumadaan sa sputtering area na nabuo sa harap ng permanenteng magnet upang makatanggap ng cathode sputtering, at ang target ay maaaring pare-pareho sputtered etched, at ang target na rate ng paggamit ay mataas.Ang rate ng paggamit ng mga target na materyales ay tungkol sa 80%~90%.
2) Ang mga cylindrical na target ay hindi madaling makagawa ng "target na pagkalason".Sa panahon ng proseso ng patong, ang ibabaw ng target na tubo ay palaging nabubulok at nakaukit ng mga ion, at hindi madaling makaipon ng mga makapal na oxide at iba pang mga insulating film sa ibabaw, at hindi madaling makagawa ng "target na pagkalason".
3) Ang istraktura ng rotary target tube type cylindrical sputtering target ay simple at madaling i-install.
4) Ang cylindrical target tube na materyal ay may iba't ibang uri.planar target na may metal na target na direktang paglamig ng tubig, at ang ilan ay hindi maaaring maproseso at mabuo ang mga cylindrical na target, tulad ng In2-SnO2 target, atbp. na may powder material para sa mainit na isostatic pressing upang makakuha ng plate-like na mga target, dahil ang laki ay hindi maaaring gawin malaki, at malutong, kaya kinakailangan na gumamit ng brazing na paraan at tanso na backplate upang isama at pagkatapos ay i-install sa target na base.Bilang karagdagan sa mga metal pipe, ang mga columnar target ay maaari ding i-spray sa ibabaw ng mga stainless steel pipe na may iba't ibang mga materyales na kailangang pahiran, tulad ng Si, Cr, atbp.
Sa kasalukuyan, ang proporsyon ng mga cylindrical na target para sa patong sa pang-industriyang produksyon ay tumataas.Ang mga cylindrical na target ay hindi lamang ginagamit para sa vertical coating machine ngunit ginagamit din sa roll to roll coating machine.Sa mga nakalipas na taon, ang mga planar twin target ay unti-unting pinapalitan ng Cylindrical twin target.
——Ang artikulong ito ay inilabas ng Guangdong Zhenhua Technology, atagagawa ng optical coating machine.
Oras ng post: Mayo-11-2023