Mga katangian ng kagamitan sa patong ng CVD

Ang teknolohiya ng patong ng CVD ay may mga sumusunod na katangian:

1. Ang proseso ng operasyon ng CVD equipment ay medyo simple at flexible, at maaari itong maghanda ng mga single o composite na pelikula at mga haluang pelikula na may iba't ibang sukat;

2. Ang CVD coating ay may malawak na hanay ng mga aplikasyon, at maaaring magamit upang maghanda ng iba't ibang metal o metal film coatings;

3. Mataas na kahusayan sa produksyon dahil sa mga rate ng deposition mula sa ilang microns hanggang daan-daang microns kada minuto;

4. Kung ikukumpara sa PVD method, ang CVD ay may mas mahusay na diffraction performance at napaka-angkop para sa coating substrates na may mga kumplikadong hugis, tulad ng mga grooves, coated hole, at kahit blind hole structures.Ang patong ay maaaring i-plated sa isang pelikula na may mahusay na compactness.Dahil sa mataas na temperatura sa panahon ng proseso ng pagbuo ng pelikula, at ang malakas na pagdirikit sa interface ng substrate ng pelikula, ang layer ng pelikula ay napakatibay.

5. Ang pinsalang dulot ng radiation ay medyo mababa at maaaring isama sa mga proseso ng integrated circuit ng MOS.

——Ang artikulong ito ay inilathala ni Guangdong Zhenhua, atagagawa ng vacuum coating machine