Proseso ng direktang polimerisasyon ng plasma

Proseso ng direktang polimerisasyon ng plasma

Ang proseso ng Plasma polymerization ay medyo simple para sa parehong internal electrode polymerization equipment at external electrode polymerization equipment, ngunit ang pagpili ng parameter ay mas mahalaga sa Plasma polymerization, dahil ang mga parameter ay may mas malaking epekto sa istraktura at pagganap ng mga polymer film sa panahon ng Plasma polymerization.

Ang mga hakbang sa pagpapatakbo para sa direktang plasma polymerization ay ang mga sumusunod:

(1) Pag-vacuum

Ang background vacuum ng polymerization sa ilalim ng mga kondisyon ng vacuum ay dapat na pumped sa 1.3 × 10-1Pa.Para sa mga reaksyon ng polymerization na nangangailangan ng mga espesyal na kinakailangan para sa pagkontrol ng nilalaman ng oxygen o nitrogen, mas mataas ang kinakailangan sa background ng vacuum.

(2) Charge reaction monomer o halo-halong gas ng carrier gas at monomer

Ang vacuum degree ay 13-130Pa.Para sa Plasma polymerization na nangangailangan ng trabaho, dapat piliin ang naaangkop na flow control mode at flow rate, sa pangkalahatan ay 10.100mL/min.Sa plasma, ang mga molekula ng monomer ay na-ionize at naghihiwalay sa pamamagitan ng pagbobomba ng mga energetic na particle, na nagreresulta sa mga aktibong particle tulad ng mga ion at aktibong gene.Ang mga aktibong particle na na-activate ng plasma ay maaaring sumailalim sa Plasma polymerization sa interface ng gas phase at solid phase.Ang monomer ay ang pinagmulan ng precursor para sa Plasma polymerization, at ang input reaction gas at monomer ay dapat magkaroon ng tiyak na kadalisayan.

(3) Pagpili ng supply ng kapangyarihan ng paggulo

Maaaring mabuo ang plasma gamit ang DC, high-frequency, RF, o microwave power source para magbigay ng plasma environment para sa polymerization.Ang pagpili ng power supply ay tinutukoy batay sa mga kinakailangan para sa istraktura at pagganap ng polimer.

(4) Pagpili ng discharge mode

Para sa mga kinakailangan ng polymer, ang Plasma polymerization ay maaaring pumili ng dalawang discharge mode: tuloy-tuloy na discharge o pulse discharge.

(5) Pagpili ng mga parameter ng paglabas

Kapag nagsasagawa ng Plasma polymerization, ang mga parameter ng paglabas ay kailangang isaalang-alang mula sa mga parameter ng plasma, mga katangian ng polimer at mga kinakailangan sa istraktura.Ang magnitude ng inilapat na kapangyarihan sa panahon ng polymerization ay tinutukoy ng dami ng vacuum chamber, laki ng elektrod, rate ng daloy at istraktura ng monomer, rate ng polymerization, at istraktura at pagganap ng polimer.Halimbawa, kung ang volume ng reaction chamber ay 1L at ang RF Plasma polymerization ay pinagtibay, ang discharge power ay nasa hanay na 10~30W.Sa ilalim ng gayong mga kondisyon, ang nabuong plasma ay maaaring magsama-sama upang bumuo ng isang manipis na pelikula sa ibabaw ng workpiece.Ang rate ng paglago ng Plasma polymerization film ay nag-iiba sa power supply, uri ng monomer at daloy ng rate, at mga kondisyon ng proseso.Sa pangkalahatan, ang rate ng paglago ay 100nm/min~1um/min.

(6) Pagsusukat ng parameter sa Plasma polymerization

Ang mga parameter ng plasma at mga parameter ng proseso na susukatin sa Plasma polymerization ay kinabibilangan ng: discharge voltage, discharge current, discharge frequency, Electron temperature, density, reaction group type at concentration, atbp.

——Ang artikulong ito ay inilabas ng Guangdong Zhenhua Technology, atagagawa ng optical coating machine.