Ang paglago ng batas ng vacuum evaporation coating film layer

Sa panahon ng evaporation coating, ang nucleation at paglago ng film layer ay ang batayan ng iba't ibang teknolohiya ng ion coating.

1.Nucleation

Inteknolohiya ng vacuum evaporation coating,pagkatapos ang mga particle ng layer ng pelikula ay sumingaw mula sa pinagmumulan ng evaporation sa anyo ng mga atom, lumilipad sila nang direkta sa workpiece sa mataas na vacuum at bumubuo ng layer ng pelikula sa pamamagitan ng nucleation at paglaki sa ibabaw ng workpiece.Sa panahon ng vacuum evaporation, ang enerhiya ng mga atomo ng layer ng pelikula na tumatakas mula sa pinagmumulan ng evaporation ay humigit-kumulang 0.2eV.Kapag ang pagkakaisa sa pagitan ng mga particle ng layer ng pelikula ay mas malaki kaysa sa puwersa ng pagbubuklod sa pagitan ng mga atomo ng layer ng pelikula at ng workpiece, bumuo ng isang nucleus ng isla.Ang isang solong film layer atom ay nananatili sa ibabaw ng workpiece sa tagal ng oras na gumagawa ng hindi regular na paggalaw, pagsasabog, paglipat, o pagbangga sa iba pang mga atom upang bumuo ng mga atomic cluster Ang bilang ng mga atom sa atomic cluster ay umaabot sa isang partikular na kritikal na halaga, isang matatag nabuo ang nucleus, na tinatawag na homogenous shaped nucleus.

makinis, at naglalaman ng maraming mga depekto at hakbang, na nagiging sanhi ng pagkakaiba sa puwersa ng adsorption ng iba't ibang bahagi ng workpiece sa mga radioactive atoms.Ang enerhiya ng adsorption ng ibabaw ng depekto ay mas malaki kaysa sa normal na ibabaw, kaya ito ay nagiging aktibong sentro, na nakakatulong sa preferential nucleation, na tinatawag na heterogenous nucleation.Kapag ang cohesive force ay katumbas ng binding force, o ang binding force sa pagitan ng membrane atoms at ang workpiece ay mas malaki kaysa sa cohesive force sa pagitan ng membrane atoms, ang lamellar na istraktura ay nabuo.Sa teknolohiya ng ion plating, ang core ng isla ay nabuo sa karamihan ng mga kaso.

2.Paglago

Kapag nabuo na ang core ng pelikula, patuloy itong lumalaki sa pamamagitan ng pag-trap sa mga atomo ng insidente. Ang mga isla ay lumalaki at nagsasama-sama sa isa't isa upang bumuo ng mas malalaking hemisphere, unti-unting bumubuo ng isang hemispherical na layer ng isla na kumakalat sa ibabaw ng workpiece.

Kapag ang atomic energy ng layer ng pelikula ay mataas, maaari itong magkalat ng sapat sa ibabaw at ang isang makinis na tuluy-tuloy na pelikula ay maaaring mabuo kapag ang kasunod na mga papasok na atomic cluster ay maliit. Kung ang diffusion ng mga atomo sa ibabaw ay mahina at ang laki ng ang mga nakadepositong kumpol ay malaki, umiiral ang mga ito bilang malaking peninsular nuclei. Ang tuktok ng core ng isla ay may malakas na epekto ng pagtatabing sa malukong bahagi, iyon ay ang "epekto ng anino". at preferential growth, na nagreresulta sa pagtaas ng antas ng concavity sa ibabaw upang bumuo ng conical o columnar na kristal na may sapat na laki.Ang mga penetrating voids ay nabuo sa pagitan ng mga conical na kristal at tumataas ang halaga ng pagkamagaspang sa ibabaw. Ang pinong tissue ay maaaring makuha sa mataas na vacuum, na may pagbaba ng vacuum degree, ang microstructure ng lamad ay nagiging mas makapal at mas makapal.